[发明专利]TFT-LCD阵列基板、多层图形尺寸检测方法和设备有效
| 申请号： | 200910244615.8 | 申请日： | 2009-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN102116978A | 公开（公告）日： | 2011-07-06 |
| 发明（设计）人： | 郭建;周伟峰;明星 | 申请（专利权）人： | 北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1362 | 分类号： | G02F1/1362;G02F1/13 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种TFT-LCD阵列基板、多层图形尺寸检测方法和设备，涉及液晶显示装置制造领域，能够提供更为快速和准确的测试结果，提高测试的效率和精确度。一种TFT-LCD阵列基板，包括：基板以及形成在所述基板上的多层阵列图形，在所述基板上未设置所述多层阵列图形的区域设置有用于分别检测所述多层阵列图形中各阵列图形的尺寸大小的检测标记，所述检测标记包括：与被检测图形同层设置且尺寸相同的检测图案，以及与所述检测图案非同层设置的检测衬底。本发明应用于TFT-LCD阵列基板的制备。 | ||
| 搜索关键词： | tft lcd 阵列 多层 图形 尺寸 检测 方法 设备 | ||
【主权项】：
一种TFT‑LCD阵列基板，包括：基板以及形成在所述基板上的多层阵列图形，其特征在于，在所述基板上未设置所述多层阵列图形的区域设置有用于分别检测所述多层阵列图形中各阵列图形的尺寸大小的检测标记，所述检测标记包括：与被检测图形同层设置且尺寸相同的检测图案，以及与所述检测图案非同层设置的检测衬底。
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