[发明专利]具有阶梯状V型槽结构的硅基光学基板及其制作方法无效
| 申请号： | 200910244524.4 | 申请日： | 2009-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN102116901A | 公开（公告）日： | 2011-07-06 |
| 发明（设计）人： | 杨成樾;申华军;周静涛;张慧慧 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G02B6/24 | 分类号： | G02B6/24;G03F7/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 周国城 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种具有阶梯状V型槽结构的硅基光学基板及其制作方法。该硅基光学基板由制作于单晶硅片上的具有不同宽度和深度的V型槽级连在一起构成的，该些V型槽通过一次各向异性湿法腐蚀完成，在光轴方向上严格准直并在对接处形成台阶结构。本发明的优点是便于实现在具有不同轴向尺寸的光学元件之间形成精密的对准定位和可靠的固定安装，且其制作方法简便，成本低廉。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 阶梯 结构 光学 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种具有阶梯状V型槽结构的硅基光学基板，其特征在于，该硅基光学基板由制作于单晶硅片上的具有不同宽度和深度的V型槽级连在一起构成的，该些V型槽通过一次各向异性湿法腐蚀完成，在光轴方向上严格准直并在对接处形成台阶结构。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院微电子研究所，未经中国科学院微电子研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200910244524.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：电子纸显示装置及其制造方法
- 下一篇：磁性帆示波器
