[发明专利]静电夹持装置、减少残余电荷的方法及等离子体处理设备

摘要

本发明提供一种静电夹持装置，包括基座、举升单元、电荷释放单元、置于基座内部的电极以及静电引力监测单元和控制单元，其中，静电引力监测单元监测该静电夹持装置同其所夹持的工件之间的静电引力状况，并将相应监测信号传输至控制单元；控制单元基于监测信号而判断静电引力是否大于预定阈值，若是，则启动所述电荷释放单元；若否，则进入取片过程；电荷释放单元用于释放静电夹持装置上的残余电荷。此外，本发明还提供一种减少静电夹持装置残余电荷的方法以及应用上述装置和/或方法的等离子体处理设备。本发明所提供的静电夹持装置、方法及等离子体处理设备能够减小静电夹持装置与工件之间的静电引力，避免工件偏离或碎片，从而提高生产效率。

主权项

一种静电夹持装置，包括基座、举升单元、电荷释放单元以及置于所述基座内部的电极，其特征在于，该静电夹持装置还包括静电引力监测单元和控制单元，其中所述静电引力监测单元监测该静电夹持装置同其所夹持的工件之间的静电引力状况，并将相应监测信号传输至所述控制单元；所述控制单元基于所述监测信号而判断静电引力是否大于预定阈值，若是，则启动所述电荷释放单元；若否，则进入取片过程；所述电荷释放单元在所述控制单元的控制下释放静电夹持装置上的残余电荷，以减小静电夹持装置同其所夹持的工件之间的静电引力；所述举升单元在所述控制单元的控制下对放置在静电夹持装置上的所述工件实施举升操作。