[发明专利]静电夹持装置、减少残余电荷的方法及等离子体处理设备

权利要求书

1.一种静电夹持装置，包括基座、举升单元、电荷释放单元以及置于所述基座内部的电极，其特征在于，该静电夹持装置还包括静电引力监测单元和控制单元，其中

所述静电引力监测单元监测该静电夹持装置同其所夹持的工件之间的静电引力状况，并将相应监测信号传输至所述控制单元；

所述控制单元基于所述监测信号而判断静电引力是否大于预定阈值，若是，则启动所述电荷释放单元；若否，则进入取片过程；

所述电荷释放单元在所述控制单元的控制下释放静电夹持装置上的残余电荷，以减小静电夹持装置同其所夹持的工件之间的静电引力；

所述举升单元在所述控制单元的控制下对放置在静电夹持装置上的所述工件实施举升操作。

2.根据权利要求1所述的静电夹持装置，其特征在于，所述预定阈值对应于所述工件可被所述举升单元以5～15N的推动力向上顺利地举升至可取片高度时静电夹持装置同其所夹持的工件之间的静电引力值。

3.根据权利要求1所述的静电夹持装置，其特征在于，所述静电引力监测单元包括第一位置传感器，所述第一位置传感器设置在所述举升单元的运行路径上且对应于所述工件的可取片高度，用以监测所述工件是否已在所述举升单元的推动下运动到所述可取片高度，并将相应的监测信号发送至所述控制单元。

4.根据权利要求3所述的静电夹持装置，其特征在于，所述第一位置传感器设置在所述工件到达可取片高度时举升单元的底盘所对应的位置处。

5.根据权利要求3所述的静电夹持装置，其特征在于，所述静电引力监测单元还包括第二位置传感器，所述第二位置传感器设置在所述举升单元的运行路径上且对应于所述举升单元向上运动时的起始位置。

6.根据权利要求5所述的静电夹持装置，其特征在于，所述举升单元向上运动的起始位置对应于所述举升单元的顶部向下回缩至比所述基座的上表面低2～3mm时的位置。

7.根据权利要求1所述的静电夹持装置，其特征在于，所述静电引力监测单元包括设置在举升单元运行路径上的位移传感器，用以监测所述工件是否已在所述举升单元的推动下运动到可取片高度，并将相应监测信号发送至所述控制单元。

8.根据权利要求1所述的静电夹持装置，其特征在于，所述电荷释放单元包括用于释放静电荷的电源，以在控制单元的控制下向所述电极施加与所述静电夹持装置上的残余电荷极性相反的电压，以中和所述残余电荷。

9.根据权利要求2、3、4或7所述的静电夹持装置，其特征在于，所述可取片高度为高出所述基座上表面4～10mm的高度。

10.一种减少静电夹持装置残余电荷的方法，用于将静电夹持装置同其所夹持的工件之间的静电引力减小至期望值，其特征在于，该方法包括以下步骤：

10)监测静电夹持装置同其所夹持的工件之间的静电引力状况，若所述静电引力大于预定阈值，则转到步骤20)；若所述静电引力小于预定阈值，则结束本方法；

20)释放所述静电夹持装置上的残余电荷，以减小静电夹持装置同其所夹持的工件之间的静电引力；

重复上述步骤10)至步骤20)，直至所述静电夹持装置同其所夹持的工件之间的静电引力小于预定阈值。

11.根据权利要求10所述的减少静电夹持装置残余电荷的方法，其特征在于，所述预定阈值对应于以5～15N的推动力将所述工件向上顺利地举升至可取片高度时静电夹持装置同其所夹持的工件之间的静电引力值。

12.根据权利要求10所述的减少静电夹持装置残余电荷的方法，其特征在于，在所述步骤10)中，借助于位置传感器监测所述工件是否已被举升至所述可取片高度，若是，则判定静电引力小于所述预定阈值；若否，则判定静电引力大于所述预定阈值，其中，所述位置传感器设置在所述举升单元的运行路径上并且对应于工件的可取片高度。

13.根据权利要求10所述的减少静电夹持装置残余电荷的方法，其特征在于，在所述步骤10)中，借助于位移传感器监测所述工件是否已被举升至所述可取片高度，若是，则判定静电引力小于所述预定阈值；若否，则判定静电引力大于所述预定阈值，其中，所述位移传感器设置在所述举升单元的运行路径上。