[发明专利]光刻机硅片台双台交换系统及其交换方法

摘要

一种光刻机硅片台双台交换系统及其交换方法，该系统含有两个硅片台、基台、X方向直线导轨、Y方向直线导轨、硅片台辅助驱动单元以及四个单自由度辅助驱动单元，所述系统还包括设置在第一X方向直线导轨上的第一主驱动单元和设置在第二X方向直线导轨上的第二主驱动单元。在主驱动单元驱动下，Y方向导轨可实现沿X方向的移动和基台平面内的旋转运动；当Y方向导轨带动硅片台旋转至与X方向平行时，另一带有硅片台的Y方向导轨可在主驱动单元的驱动下沿X方向平移运动，以实现两硅片台的位置交换。本发明避免了硅片台尺寸一致性、零部件加工和装配的极高精度要求等缺陷，不仅简化了系统结构，而且提高了系统的空间利用率和精度。

主权项

一种光刻机硅片台双台交换系统，该系统含有运行于曝光工位的第一硅片台(3)、运行于预处理工位的第二硅片台(8)、基台(5)、第一X方向直线导轨(2)、第二X方向直线导轨(6)、第一单自由度辅助驱动单元(1)、第二单自由度辅助驱动单元(7)、第三单自由度辅助驱动单元(15)、第四单自由度辅助驱动单元(16)、第一Y方向导轨(4)、第二Y方向导轨(9)、第一硅片台辅助驱动单元(11)和第二硅片台辅助驱动单元(12)，第一Y方向导轨(4)穿过第一硅片台(3)，第二Y方向导轨(9)穿过第二硅片台(8)；其特征在于：所述系统还含有设置在第一X方向直线导轨(2)上的第一主驱动单元(10)和设置在第二X方向直线导轨(6)上的第二主驱动单元(13)；所述的第一主驱动单元(10)具有沿X方向的移动自由度和垂直于基台平面的转动自由度，所述的第一主驱动单元(10)与第一Y方向导轨(4)的一端相联，第一Y方向导轨(4)的另一端与第三单自由度辅助驱动单元(15)或第四单自由度辅助驱动单元(16)对接；所述的第二主驱动单元(13)具有沿X方向的移动自由度，第二主驱动单元(13)与第二Y方向导轨(9)的一端相联，导轨的另一端与第一单自由度辅助驱动单元(1)或第二单自由度辅助驱动单元(7)对接；所述的Y方向导轨与单自由度辅助驱动单元采用分离式结构，在两硅片台位置交换时断开。