[发明专利]一种膜基反射镜面形控制系统及控制方法无效
| 申请号： | 200910234493.4 | 申请日： | 2009-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN101738949A | 公开（公告）日： | 2010-06-16 |
| 发明（设计）人： | 张庚生;唐敏学 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | G05B19/04 | 分类号： | G05B19/04 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 陶海锋 |
| 地址： | 215123 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种膜基反射镜面形控制系统及其控制方法。该系统包括：标准面形设计模块、仿真分析模块、面形监视模块、模糊逻辑控制模块、面形控制促动器和面形反馈模块；它以设计所需的膜基反射镜的口径和F数为参数，采用Zernike多项式系数的形式，确定标准反射镜面形数据；探测膜基反射镜的实时面形，以膜基反射镜与标准反射镜的中心截面矢高误差为控制变量，经模糊逻辑控制器处理，输出膜基反射镜成形所需的电压值，采用静电法改变膜基反射镜的面形。本发明采用基于有限元分析方法的面形控制的仿真分析，预测控制的效果，优化模糊控制规则库，降低了控制器设计难度。该方法的提出为实现膜基反射镜面形的有效控制提供了技术基础。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 反射 镜面形 控制系统 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种膜基反射镜面形控制系统，其特征在于它包括：标准面形设计模块(1)、仿真分析模块(2)、面形监视模块(3)、模糊逻辑控制模块(4)、面形控制促动器(5)和面形反馈模块(7)；所述的标准面形设计模块(1)用于设计和存储标准反射镜面形数据；所述的仿真分析模块(2)包括有限元分析器和数据输入/输出接口单元，它与标准面形设计模块(1)、模糊逻辑控制模块(4)和面形监视模块(3)相连接，用于膜基反射镜面形控制的仿真分析；所述的面形监视模块(3)用于跟踪监视膜基反射镜面形的实时控制，提供标准面形与实测面形的信息；所述的模糊逻辑控制模块(4)包括模糊逻辑控制器(44)、模糊逻辑控制器知识库(45)、模糊规则编辑器(47)和数据输入/输出接口单元，它与标准面形设计模块(1)、仿真分析模块(2)、面形控制促动器(5)和面形反馈模块(7)相连接，用于将标准面形设计模块(1)中设计的标准面形和面形反馈模块(7)的实测面形数据进行比较，结果输入模糊逻辑控制器(4)，经数据处理后，输出膜基反射镜(6)成形所需的电压信号，驱动面形控制促动器(5)；所述的面形控制促动器(5)包括由计算机控制的高压静电发生装置和环状电极板(51)，电极板位于膜基反射镜(6)的镜面之后，高压静电发生装置产生的静电高压输出至电极板(51)，镀有金属反射层的膜基反射镜(6)接地；所述的面形反馈模块(7)包括波前传感器及其数据处理单元，用于探测膜基反射镜(6)的实时面形。
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