[发明专利]一种镀铜工艺无效
| 申请号： | 200910219769.1 | 申请日： | 2009-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN102061471A | 公开（公告）日： | 2011-05-18 |
| 发明（设计）人： | 周丽 | 申请（专利权）人： | 周丽 |
| 主分类号： | C23C28/02 | 分类号： | C23C28/02;C25D3/38;C23C14/35;C23C14/14 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 110159 辽宁省沈阳市浑*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 一种镀铜工艺属于精细化工领域，更具体地说，是涉及一种镀铜工艺。本发明提供了一种高效、污染小的镀铜工艺。本发明的工艺步骤为：除油、水洗、烘干、等离子处理、磁控溅射铜、焦磷酸盐电镀铜、烘干。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀铜 工艺 | ||
【主权项】：
一种镀铜工艺，其特征在于，本发明的工艺步骤为：(1)除油、水洗、烘干、等离子处理、磁控溅射铜；(2)焦磷酸盐电镀铜镀液的配方为：焦磷酸铜70～90g/L、焦磷酸钾300～350g/L、柠檬酸铵0～15g/L、硝酸铵0～20g/L、酒石酸钾钠0～25g/L、氨三乙酸0～20g/L、氨水0～1ml；镀铜过程的温度为45～55℃，体系pH值为8.2～8.8；(3)烘干。
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