[发明专利]一种镀铜工艺无效
| 申请号： | 200910219769.1 | 申请日： | 2009-11-11 |
| 公开（公告）号： | CN102061471A | 公开（公告）日： | 2011-05-18 |
| 发明（设计）人： | 周丽 | 申请（专利权）人： | 周丽 |
| 主分类号： | C23C28/02 | 分类号： | C23C28/02;C25D3/38;C23C14/35;C23C14/14 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 110159 辽宁省沈阳市浑*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 镀铜 工艺 | ||
1.一种镀铜工艺，其特征在于，本发明的工艺步骤为：
(1)除油、水洗、烘干、等离子处理、磁控溅射铜；
(2)焦磷酸盐电镀铜
镀液的配方为：
焦磷酸铜70～90g/L、焦磷酸钾300～350g/L、柠檬酸铵0～15g/L、硝酸铵0～20g/L、酒石酸钾钠0～25g/L、氨三乙酸0～20g/L、氨水0～1ml；
镀铜过程的温度为45～55℃，体系pH值为8.2～8.8；
(3)烘干。
2.根据权利要求1所述的一种镀铜工艺，其特征在于，本发明的工艺步骤为：
(1)除油、水洗、烘干、等离子处理、磁控溅射铜；
(2)焦磷酸盐电镀铜
镀液的配方为：
焦磷酸铜70g/L、焦磷酸钾350g/L、柠檬酸铵15g/L、硝酸铵20g/L、酒石酸钾钠12.5g/L、氨三乙酸10g/L、氨水1ml；
镀铜过程的温度为45℃，体系pH值为8.2；
(3)烘干。
3.根据权利要求1所述的一种镀铜工艺，其特征在于，本发明的工艺步骤为：
(1)除油、水洗、烘干、等离子处理、磁控溅射铜；
(2)焦磷酸盐电镀铜
镀液的配方为：
焦磷酸铜90g/L、焦磷酸钾300g/L、柠檬酸铵0g/L、硝酸铵20g/L、酒石酸钾钠0g/L、氨三乙酸20g/L、氨水0.5ml；
镀铜过程的温度为55℃，体系pH值为8.8；
(4)烘干。
4.根据权利要求1所述的一种镀铜工艺，其特征在于，本发明的工艺步骤为：
(1)除油、水洗、烘干、等离子处理、磁控溅射铜；
(2)焦磷酸盐电镀铜
镀液的配方为：
焦磷酸铜70g/L、焦磷酸钾300g/L、柠檬酸铵15g/L、硝酸铵10g/L、酒石酸钾钠25g/L、氨三乙酸0g/L、氨水0ml；
镀铜过程的温度为50℃，体系pH值为8.5；
(3)烘干。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于周丽，未经周丽许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200910219769.1/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
