[发明专利]材料气体浓度控制系统

摘要

一种材料气体浓度控制系统，用于材料气化系统中，所述材料气化系统包括收纳材料的贮槽、将使所收纳的材料气化的载气导入至所述贮槽内的导入管、以及将气化而成的材料气体及所述载气的混合气体从所述贮槽内导出的导出管，所述材料气体浓度控制系统包括设置于所述导出管上的第1阀、测量所述混合气体中的材料气体的浓度的浓度测量部、以及对所述第1阀的开度进行控制，以使所述浓度测量部所测量的材料气体的测量浓度达到预定的设定浓度的浓度控制部。

主权项

一种材料气体浓度控制系统，用于材料气化系统中，所述材料气化系统包括收纳材料的贮槽、将使所收纳的材料气化的载气导入所述贮槽内的导入管、以及将所述材料气化而成的材料气体及所述载气的混合气体从所述贮槽内导出的导出管，所述材料气体浓度控制系统的特征在于包括：第1阀，设置于所述导出管上；浓度测量部，对所述混合气体中的所述材料气体的浓度进行测量；以及浓度控制部，对所述第1阀的开度进行控制，以使所述浓度测量部所测量出的所述材料气体的测量浓度达到预定的设定浓度，所述浓度测量部包括对所述贮槽内的压力进行测量的压力测量部，所述浓度控制部包括：设定压力设定部，将设定压力朝向所述测量浓度与所述设定浓度的偏差变小的方向变更；以及第1阀控制部，对所述第1阀的开度进行控制，以使所述压力测量部所测量出的测量压力达到所述设定压力，且将所测量的材料气体的所述测量浓度控制为达到预定的所述设定浓度。