[发明专利]电容式加速度计无效
申请号: | 200910198629.0 | 申请日: | 2009-11-11 |
公开(公告)号: | CN101710133A | 公开(公告)日: | 2010-05-19 |
发明(设计)人: | 刘芳;张涛;孙明营;孙平平;朱健强 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01P15/125 | 分类号: | G01P15/125 |
代理公司: | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人: | 张泽纯 |
地址: | 201800 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种电容式加速度计,包括具有上端盖极板的上端盖、有下端盖极板的下端盖、具有质量块极板上极板和质量块下极板的质量块、圆筒体和八根弹性支杆,所述的上端盖和下端盖与圆筒体相结合,将所述的弹性支杆固定,所述的质量块通过所述的弹性支杆与所述的圆筒体连接,形成敏感运动机构;所述的上端盖极板、下端盖极板、质量块上极板、质量块下极板都具有多块相互间隔的扇形子电极,这些扇形子电极使所述的上端盖极板、下端盖极板分别和质量块上极板、质量块下极板构成差分电容式结构。本发明能够同时测量纵向加速度及角加速度。 | ||
搜索关键词: | 电容 加速度计 | ||
【主权项】:
一种电容式加速度计,其特征在于包括:上端盖(1),在上端盖的内表面绝缘地贴设上端盖极板(2),且在上端盖的内表面的中心具有一块突出的绝缘的止动块;下端盖(16),在下端盖(16)的内表面绝缘地贴设下端盖极板(15),且在下端盖的内表面的中心具有一块突出的绝缘的止动块;质量块(8)是上下两端分别具有缩颈的“王”字形的实心圆柱体,在该实心圆柱体的上下端分别绝缘地设有质量块上极板(3)和质量块下极板(14),该质量块(8)的上缩颈和下缩颈的周围分别对称地设有四个相互绝缘的插孔;圆筒体(9),在该圆筒体(9)的上下两端四边对称地分别设有四个绝缘的凹槽,与所述的质量块(8)的上缩颈和下缩颈的周围分别对称地设有四个绝缘的插孔相对应;第一弹性支杆(4)、第二弹性支杆(5)、第三弹性支杆(6)和第四弹性支杆(7)的两端分别固定在所述的圆筒体(9)的上端的四个凹槽中和所述的质量块(8)上缩颈的四个插孔中,第五弹性支杆(10)、第六弹性支杆(11)、第七弹性支杆(12)和第八弹性支杆(13)的两端分别固定在所述的圆筒体(9)的下端的四个凹槽中和所述的质量块(8)下缩颈的四个插孔中,所述的上端盖(1)和下端盖(16)与所述的圆筒体(9)相结合,将所述的弹性支杆固定,所述的质量块(8)通过所述的弹性支杆与所述的圆筒体(9)连接,形成敏感运动机构;所述的上端盖极板(2)与下端盖极板(15)完全相同,所述的质量块上极板(3)和质量块下极板(14)完全相同,所述的上端盖极板(2)、下端盖极板(15)、质量块上极板(3)、质量块下极板(14)都具有多块相互间隔的扇形子电极,这些扇形子电极使所述的上端盖极板(2)、下端盖极板(15)分别和质量块上极板(3)、质量块下极板(14)构成差分电容式结构。
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