[发明专利]压力传感器无效
| 申请号： | 200910178584.0 | 申请日： | 2009-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN101713693A | 公开（公告）日： | 2010-05-26 |
| 发明（设计）人： | 米田雅之;德田智久 | 申请（专利权）人： | 株式会社山武 |
| 主分类号： | G01L9/04 | 分类号： | G01L9/04;G01L13/06;G01L1/22 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 雒运朴;李伟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种小型且高性能的压力传感器。本发明涉及的压力传感器，具有：差压用膜片(4)；设置于差压用膜片的外周部的静压用膜片(17)；第一静压应变片对(15)，其具有隔着差压用膜片(4)而配置的两个静压应变片(15a、15b)，且形成于静压用膜片(17)的端部；第二静压应变片对(16)，其具有隔着差压用膜片(4)而配置的两个静压应变片(16c、16d)，且形成于静压用膜片(17)的中央部。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 | ||
【主权项】：
一种压力传感器，其特征在于，具备：基板；设置于上述基板的中央部的差压用膜片；设置于上述差压用膜片的差压应变片；设置于上述差压用膜片的外周部的静压用膜片；第一静压应变片对，其具有隔着上述差压用膜片而配置的两个静压应变片，且形成于上述静压用膜片的端部；第二静压应变片对，其具有隔着上述差压用膜片而配置的两个静压应变片，且形成于上述静压用膜片的中央部。
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