[发明专利]压力传感器

权利要求书

1.一种压力传感器，其特征在于，具备：

基板；

设置于上述基板的中央部的差压用膜片；

设置于上述差压用膜片的差压应变片；

设置于上述差压用膜片的外周部的静压用膜片；

第一静压应变片对，其具有隔着上述差压用膜片而配置的两个静压应变片，且形成于上述静压用膜片的端部；

第二静压应变片对，其具有隔着上述差压用膜片而配置的两个静压应变片，且形成于上述静压用膜片的中央部。

2.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，

连接上述第一静压应变片对的直线，与连接上述第二静压应变片对的直线正交。

3.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，

连接上述第一静压应变片对的直线，与连接上述第二静压应变片对的直线一致。

4.根据权利要求1或2所述的压力传感器，其特征在于，

上述第一静压应变片对所包括的两个静压应变片，形成于上述静压用膜片的基板中心侧的端部，或者基板端侧的端部。

5.根据权利要求1或2所述的压力传感器，其特征在于，

与上述第一及第二静压应变片对所包括的四个静压应变片相对应地，设置四个上述静压用膜片，

四个上述静压用膜片的短边方向，沿着相对于上述差压用膜片的中心的径向配置。

6.根据权利要求1或3所述的压力传感器，其特征在于，

与上述第一及第二静压应变片对所包括的四个静压应变片相对应地，设置两个上述静压用膜片，

两个上述静压用膜片的短边方向，沿着相对于上述差压用膜片的中心的径向配置。

7.根据权利要求5或6所述的压力传感器，其特征在于，

上述第一及第二静压应变片对所包括的四个静压应变片，沿着与上述静压用膜片的短边方向垂直的方向形成。

8.根据权利要求5至7中任意一项所述的压力传感器，其特征在于，

上述静压用膜片呈长方形。

9.根据权利要求1所述的压力传感器，其特征在于，

上述静压用膜片，以包围上述差压用膜片的方式形成为圆环状，

上述第一及第二静压应变片对所包括的四个静压应变片，形成在圆环状的上述静压用膜片的周向上。

10.根据权利要求9所述的压力传感器，其特征在于，

上述差压用膜片呈圆形。

11.根据权利要求9所述的压力传感器，其特征在于，

圆环状的上述静压用膜片和圆形的上述差压用膜片，配置成同心圆状。

12.根据权利要求9至11中任意一项所述的压力传感器，其特征在于，

上述基板呈圆形。