[发明专利]脆性材料基板的划线方法及分割方法有效
申请号: | 200910173800.2 | 申请日: | 2005-02-01 |
公开(公告)号: | CN101774754A | 公开(公告)日: | 2010-07-14 |
发明(设计)人: | 前川和哉;坂口良太;三浦善孝 | 申请(专利权)人: | 三星钻石工业股份有限公司 |
主分类号: | C03B33/02 | 分类号: | C03B33/02;C03B33/10 |
代理公司: | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人: | 寿宁;张华辉 |
地址: | 日本大阪府吹田*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明是有关于一种脆性材料基板的划线方法及分割方法。其提供,于分割脆性材料基板时,即使脆性材料基板的板厚较薄的情形,亦能将高精度的划线稳定形成的刀轮、及使用其的脆性材料基板的划线方法。刀轮,是脆性材料基板划线用刀轮,其沿碟状轮的圆周部形成V字形的棱线部作为刀锋,在该棱线部以大致等间隔形成复数个既定形状的突起,刀轮的外径是1.0-2.5mm,该突起是在该棱线部的全周以8-35μm的间距形成,该突起的高度是0.5-6.0μm,刀锋的角度是85-140°。 | ||
搜索关键词: | 脆性 材料 划线 方法 分割 | ||
【主权项】:
一种脆性材料基板的划线方法,是藉由将刀轮压接转动于脆性材料基板上,以在脆性材料基板的表面形成划线;该刀轮,是沿碟状轮的圆周部形成V字形的棱线部作为刀锋,在该棱线部以大致等间隔形成复数个突起;其特征在于:将厚度0.4mm的脆性材料基板划线时,使用具有如下构成的刀轮来进行,即,刀轮的外径是1.0-2.5mm,该突起是在该棱线部的全周以8-35μm的间距形成,该突起的高度是0.5-6.0μm,刀锋的角度是85-140°。
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