[发明专利]脆性材料基板的划线方法及分割方法有效

专利信息
申请号: 200910173800.2 申请日: 2005-02-01
公开(公告)号: CN101774754A 公开(公告)日: 2010-07-14
发明(设计)人: 前川和哉;坂口良太;三浦善孝 申请(专利权)人: 三星钻石工业股份有限公司
主分类号: C03B33/02 分类号: C03B33/02;C03B33/10
代理公司: 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 代理人: 寿宁;张华辉
地址: 日本大阪府吹田*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 脆性 材料 划线 方法 分割
【权利要求书】:

1.一种脆性材料基板的划线方法,是藉由将刀轮压接转动于脆性材料基板上,以在脆性材料基板的表面形成划线;该刀轮,是沿碟状轮的圆周部形成V字形的棱线部作为刀锋,在该棱线部以等间隔形成复数个突起;其特征在于:

将厚度0.2-0.35mm的脆性材料基板划线时,使用具有如下构成的刀轮来进行,即,刀轮的外径是1.0-2.5mm,该突起是在该棱线部的全周以8-35μm的间距形成,该突起的高度是0.5-3.0μm,刀锋的角度是90-120°,在该刀轮的刀锋施加0.04-0.18MPa的负载。

2.根据权利要求1所述的脆性材料基板的划线方法,其特征在于,该刀轮是烧结钻石或超硬合金材料所形成。

3.根据权利要求1所述的脆性材料基板的划线方法,其特征在于,该刀轮是藉由具有以下步骤的刀轮的制造方法所制造,即,

将碟状轮的刀锋,以至少1个刀锋角度θ1粗研磨;

其次将该刀锋的前端侧,以与刀锋角度θ1不同的刀锋角度θ2精加工研磨;以及

在形成有作为刀锋的V字形的棱线部,以等间隔形成复数个槽,藉此形成复数个突起。

4.根据权利要求1所述的脆性材料基板的划线方法,其特征在于,对以二片该脆性材料基板贴合而成的贴合基板,分别在该脆性材料基板的各个表面形成划线。

5.一种脆性材料基板的分割方法,其特征在于:是使用刀轮在厚度0.2-0.35mm的脆性材料基板形成划线,然后沿形成的划线施加负载来进行裂片;作为该刀轮,是使用沿碟状轮的圆周部形成V字形的棱线部作为刀锋,在该棱线部以等间隔形成复数个突起,刀轮的外径是1.0-2.5mm,该突起是在该棱线部的全周以8-35μm的间距形成,该突起的高度是0.5-3.0μm,刀锋的角度是90-120°的刀轮,在该脆性材料基板施加0.04-0.18MPa的负载来形成划线。

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