[发明专利]检查装置和检查方法有效
| 申请号： | 200910173379.5 | 申请日： | 2009-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN101714517A | 公开（公告）日： | 2010-05-26 |
| 发明（设计）人： | 雨宫浩;片桐浩文;大塚哲;渊上慎司 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种检查装置和检查方法，能够将空气的循环装置紧凑化，同时将探针室内的露点稳定化，并能够进行可靠性高的低温检查。本发明的检查装置(10)包括：探针室(12)、沿探针室(12)的背面配置且使探针室(12)内的干燥空气循环的循环装置(13)、和对包含循环装置(13)与探针室(12)内的载置台的设备进行控制的控制装置(14)，循环装置(13)具备使探针室(12)内的干燥空气循环的送风单元(131)、和从经由送风单元(131)循环的干燥空气中去除尘埃的过滤单元(132)。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种检查装置，包括：探针室，其将载置于载置台上的被检查体调节至低温区域的规定温度来进行所述被检查体的电特性检查；循环装置，其沿所述探针室的侧面配置，并且使所述探针室内的干燥空气循环；和控制装置，其对包含所述循环装置以及所述探针室内的载置台的设备进行控制，该检查装置的特征在于：所述循环装置包括：送风单元，其使所述探针室内的干燥空气循环；和过滤单元，其从经由所述送风单元循环的干燥空气中去除尘埃。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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