[发明专利]基板传输系统及其基板取出方法

摘要

本发明公开了一种用以存取基板的基板传输系统，包含一卡匣及一搬运装置。卡匣包含一本体、多对第一支撑元件及多对第二支撑元件。本体具有相对设置的一第一壁与一第二壁。各对第一支撑元件是沿纵向分设于第一壁及第二壁，并共同构成一第一储存区，且相邻两第一支撑元件具有一第一距离。各对第二支撑元件是沿纵向分设于第一壁及第二壁，并共同构成一第二储存区，且相邻两第二支撑元件具有一第二距离。另外，沿纵向的相邻的第一支撑元件与第二支撑元件间有一第三距离，且第三距离大于第一距离及第二距离。本发明也揭露一种使用上述基板传输系统的基板取出方法。

主权项

1、一种基板传输系统，用以存取多个基板，其特征在于，该基板传输系统包含：一卡匣，用以存放该基板，包含：一本体，具有相对设置的一第一壁与一第二壁；多对第一支撑元件，该第一支撑元件的其中任一对分设于该第一壁及该第二壁以构成存放该基板的多个第一承载面的其中之一，该第一支撑元件沿与该第一承载面垂直的一方向设置以构成一第一储存区，且沿该方向的相邻两第一支撑元件具有一第一距离；及多对第二支撑元件，该第二支撑元件的其中任一对分设于该第一壁及该第二壁以构成存放该基板的多个第二承载面的其中之一，该第二支撑元件沿该方向设置以构成邻设于该第一储存区的一第二储存区，且沿该方向的相邻两第二支撑元件具有一第二距离，沿该方向的相邻的该第一支撑元件与该第二支撑元件之间具有一第三距离，该第三距离大于该第一距离及该第二距离；以及一搬运装置，邻设于该卡匣，且具有至少一搬运单元适于伸入该卡匣以存取该基板，其中，该第一距离与该第二距离分别大于该搬运单元的一上移距离，且该上移距离适于使各基板脱离相对应的各对第一支撑元件或相对应的各对第二支撑元件支撑的一向上距离。