[发明专利]液体喷头及液体喷射装置有效
申请号: | 200910164626.5 | 申请日: | 2009-07-23 |
公开(公告)号: | CN101633266A | 公开(公告)日: | 2010-01-27 |
发明(设计)人: | 大桥幸司;岩下节也;大泽荣治 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | B41J2/14 | 分类号: | B41J2/14;B41J2/01 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 李贵亮 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供能够良好印刷、蚀刻特性优异的液体喷头及其制造方法。液体喷头(50)包括:具有压力室(521)的压力室基板(52);设置在所述压力室基板一侧的振动板(55);设置在所述振动板的上方且与所述压力室对应的位置的压电元件(54);设置在所述压力室基板的另一侧并具有与所述压力室连通的喷嘴孔的喷嘴板(51)。所述压电元件具有:下部电极(4)、形成在所述下部电极的上方的取向层(7)、形成在所述取向层上方的压电体层(5)、形成在所述压电体层的上方的上部电极(6)。所述取向层(7)包括镍酸镧的混晶,所述混晶所含的镍酸镧用式LaxNiyOz表示时,x是1至3中的任一个整数,y是1或2,且z是2至7中的任一个整数。 | ||
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【主权项】:
1、一种液体喷头,其中,包括:具有喷嘴孔的喷嘴板;具有与所述喷嘴孔连通的压力室且与所述喷嘴板相接的压力室基板;密封所述压力室的打开的面的振动板;与所述振动板相接,并设置在与所述压力室对应的位置上的压电元件,所述压电元件具有:对置的两个电极;设置在所述电极之间的压电层;设置在所述两个电极中的靠近所述振动板的电极与所述压电层之间的取向层,所述取向层含有镍酸镧的混晶,所述混晶所含的所述镍酸镧用式LaxNiyOz表示时,x是1至3中的任一个整数,y是1或2,且z是2至7中的任一个整数。
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