[发明专利]液体喷头及液体喷射装置

说明书

技术领域

本发明涉及液体喷头及液体喷射装置。

背景技术

作为能够高画质、高速印刷的打印机，已知喷墨打印机。控制压电体 层的结晶方位对于提高喷墨打印机用的液体喷头的压电元件特性是重要 的。

作为控制压电体层的结晶方位的方法，已知使用MgO(100)单结晶 基板进行控制的方法(参见日本特开2000-158648号公报)。但是，该方 法中，有时液体喷头的制作工序变复杂。

【专利文献1】日本特开2000-158648号公报。

发明内容

本发明的目的之一在于提供蚀刻特性优异的液体喷头。

本发明的其他目的在于提供具有上述液体喷头的液体喷射装置。

本发明的液体喷头包括：

具有压力室的压力室基板；

设置在所述压力室基板的一侧的振动板；

设置在所述振动板的上方且对应于所述压力室的位置上的压电元件；

设置在所述压力室基板的另一侧，具有与所述压力室连通的喷嘴孔的 喷嘴板，

所述压电元件包括：

下部电极；

形成在所述下部电极上方的取向层；

形成在所述取向层上方的压电体层；

形成在所述压电体层上方的上部电极，

所述取向层含有镍酸镧的混晶，

所述混晶所含的镍酸镧用式La_xNi_yO_z表示时，x是1至3中的任一个 整数，y是1或2，且z是2至7中的任一个整数。

根据本发明，通过具有确定的取向层，可以提供具有压电特性优异的 压电元件，例如能够高密度印刷和高速印刷，并且蚀刻特性优异的液体喷 头。

此外，本发明的记载中，所谓用语“上方”，例如用作“确定的部件 (以下称为“A”)的“上方”形成其他确定的部件(以下称为“B”)” 等时，包括在A上直接形成B的情况与在A上隔着其他部件形成B的情 况，使用用语“上方”。

本发明的液体喷头中，所述混晶可以由选自LaNiO₂、LaNiO₃、La₂NiO₄以及La₃Ni₂O₇中的两种以上的镍酸镧构成。

本发明的液体喷头中，所述混晶在由使用CuKα射线的θ-2θ法测定的 X射线衍射的衍射角2θ中，在21°至25°之间具有峰顶位置。此处，所谓 “峰顶位置”表示起因于所述混晶的峰的顶点。并且，以将从所述峰顶位 置至21°的峰强度进行积分得到的值为I_A，以将从所述峰顶位置至25°的峰 强度进行积分得到的值为I_B时，可以为I_A＞I_B或I_A＜I_B。另外，此时，所 述混晶可以含有LaNiO₂、LaNiO₃及La₂NiO₄。另外，此时，所述混晶中， 镧相对于镍的摩尔比(La/Ni)可以为1.5以下。

本发明的液体喷头中，所述混晶在由使用CuKα射线的θ-2θ法测定的 X射线衍射的衍射角2θ中，在从30°至34°之间可以具有峰顶位置。并 且，以将从所述峰顶位置至30°的峰强度进行积分得到的值为I_C，以将从 所述峰顶位置至33°的峰强度进行积分得到的值为I_D时，可以为I_C＞I_D或I_C＜I_D。另外，此时，所述混晶可以含有LaNiO₂、LaNiO₃、La₂NiO₄及 La₃Ni₂O₇。另外，此时，所述混晶中，镧相对于镍的摩尔比(La/Ni)为1.5 以上。

本发明的液体喷射装置包括：

供给及输出被喷出介质的被喷出介质输送机构，

利用所述液体喷头向利用所述被喷出介质输送机构供给的被喷出介 质上的任意位置供给液滴的控制部。

附图说明