[发明专利]通过紫外光辐射改善致密和多孔有机硅酸盐材料的机械性能

摘要

涉及通过紫外光辐射改善致密和多孔有机硅酸盐材料的机械性能。一种低介电材料和包含该低介电材料的薄膜，当在集成电路中用作为层间电介质时，具有改善性能，以及制备该材料和薄膜的方法。在本发明的一方面，有机硅酸盐玻璃薄膜被暴露在紫外光源下，其中该薄膜在曝光后，其机械性能(例如材料硬度和弹性模量)至少比沉积的薄膜要提高10％或更多。

主权项

1.一种改进有机硅酸盐薄膜的材料硬度和弹性模量的方法，包括：通过化学气相沉积，使用至少一种包括造骨架剂前体的化学试剂在至少一部分基片上沉积有机硅酸盐薄膜，以得到具有第一材料硬度和第一弹性模量的有机硅酸盐薄膜；和在非氧化性气体环境中，将有机硅酸盐薄膜暴露在紫外辐射源中，以得到具有第二材料硬度和第二弹性模量的有机硅酸盐薄膜，其中第二材料硬度和第二弹性模量至少比第一材料硬度和第一弹性模量高10％。