[发明专利]涡轮分子泵有效

专利信息
申请号: 200910161320.4 申请日: 2009-07-20
公开(公告)号: CN101634307A 公开(公告)日: 2010-01-27
发明(设计)人: 大林哲郎;正司毅 申请(专利权)人: 株式会社大阪真空机器制作所
主分类号: F04D19/04 分类号: F04D19/04
代理公司: 北京北翔知识产权代理有限公司 代理人: 刘文君;杨 勇
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种动叶层和静叶层交互配置而成的涡轮分子泵,该涡轮分子泵可以防止因真空破坏而发生空气冲入运转中的装置的情况时动叶层与静叶层的叶发生接触的事故,而且转子中心部也不会受到过大的离心力,并且泵的排气性能也比现有的提高了。动叶层(1)的动叶(2)中,圆周方向的叶剖面(2a)的形状以如下方式形成:该叶剖面(2a)的前半部分以凸状向旋转方向后方弯曲,并该叶剖面(2a)的后半部以凸状向旋转方向前方弯曲,从而使该叶剖面(2a)的剖面形状形成为S字形或反S字形。
搜索关键词: 涡轮 分子
【主权项】:
1.一种涡轮分子泵,由多层轴流叶栅构成,其特征在于,形成转子的至少一个动叶层的动叶在所述转子的圆周方向上的叶剖面形状以如下方式形成:该叶剖面的上游侧部分以凸状向旋转方向的后方弯曲,并且该叶剖面的下游侧部分以凸状向旋转方向的前方弯曲,从而使该叶剖面的剖面形状形成为S字形或者反S字形。
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