[发明专利]涡轮分子泵

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于制造超高真空装置及IC和半导体等中所需的 真空发生装置上的涡轮分子泵。

背景技术

涡轮分子泵具有由转子和定子组成的泵功能部。其中，该转子具有 类似于轴流压缩机形状的多层动叶栅，该定子具有与该动叶栅相交替排 列的多层静叶栅。

公知如下例子：通过在该涡轮分子泵的叶栅设计中应用新的理论， 使得不仅在自由分子流区域，而且在中间流区域中也具有有效的压缩性 能和排气速度(例如参照专利文献1)。

专利文献1：日本专利第3532653号公报

发明内容

发明所要解决的问题

图9表示现有涡轮分子泵的一例纵向剖视图。在此，转子a在中 心部b通过将由多个轴流叶c构成的轴流叶栅以多层向外侧突出而形 成。

上述轴流叶栅的叶c由平板状的叶(平板叶)构成，图10表示该 轴流叶栅的圆周方向剖面上的展开图的一例。

上述专利文献1的专利公报中所公开的涡轮分子泵的叶栅也是如 该公报的第2图中显示的那样，由平板叶构成。

这样的平板叶，由于弯曲刚性小，在上游侧的真空部发生突发性 的真空损坏，空气冲入转子部时，叶的变形大。因此，导致动叶和静 叶相接触，有发生大事故的危险性。

另外，为了避免上述空气冲入时，动叶和静叶相接触，有必要加 厚动叶的厚度，但是，这样存在会增大转子中心内周的应力的问题。

本发明目的是，消除这些问题，提供一种如下涡轮分子泵：弯曲 刚性强，而在转子的中心部也不会产生过大的内部应力，并且，具备 其排气性能比平板叶更优异的动叶。

解决课题的方法

本发明为了达成上述目的，采用由多层轴流叶栅构成的涡轮分子 泵，其特征在于，形成转子的至少一个动叶层的动叶在所述转子的圆 周方向上的叶剖面形状以如下方式形成：该叶剖面的上游侧部分以凸 状向旋转方向的后方弯曲，并且该叶剖面的下游侧部分以凸状向旋转 方向的前方弯曲，从而该叶剖面的剖面形状形成为S字形或者反S字 形。

发明效果

通过本发明，在不增大转子的中心内周应力的情况下增强了叶的 弯曲刚性，从而能够防止空气冲入时动叶与静叶的接触。

另外，可以增加粘性流区域中的排气速度。

附图说明

图1是本发明实施例1中涡轮分子泵动叶层的圆周方向剖面的展开 图。

图2是图1中沿I-I线的剖面图。

图3是用于说明实施例1的性能的说明图。

图4是用于说明上述性能的表格。

图5是实施例2的涡轮分子泵动叶层的圆周方向的展开图。

图6是图5中沿II-II线的剖面图。

图7是实施例3的涡轮分子泵动叶层的圆周方向的展开图。

图8是图7中沿III-III线的剖面图。

图9是现有涡轮分子泵的一例的纵向剖面图。

图10是现有涡轮分子泵的轴流叶栅的圆周方向剖面的展开图。

符号说明

1、11、21 动叶层

2a        叶剖面

12a、22b  叶的前端部

12b、22b  叶的根部

22e、22h  叶的背面侧

22f、22g  叶的内面侧

Z         旋转方向

具体实施方式

用于实施本发明的最佳实施例如下。

实施例1

根据图1至图4对本发明的实施例1进行说明。

图1表示，本实施例中涡轮分子泵的动叶层1的任意半径的圆周 方向剖面的展开图，图2表示构成该动叶层1的动叶2的纵向剖面图 (图1中沿I-I线的剖面图)。

另外，箭头Z表示动叶层1的旋转方向，A表示上述动叶2的上 游侧，B表示上述动叶2的下游侧。