[发明专利]准分子灯装置

摘要

一种准分子灯装置，将装备于较长筐体的灯支撑体的位置平常保持一定，不会有灯支撑体与被处理物的摩擦，消除由于隔壁的热变形所导致的灯支撑体的位置变化，且防止从准分子灯的周围所产生的臭氧对搭载于筐体内的设备的腐蚀。该准分子灯装置(1)具备：筐体(1)；被筐体支撑的悬架体(4)；被悬架体支撑的灯支撑体(6)，被灯支撑体支撑的准分子灯(5)，以及，设于准分子灯与悬架体之间的隔壁(7)；灯支撑体松嵌合于设在隔壁上的贯通孔(8)并被悬架体支撑。而且，设置有调整灯支撑体相对于悬架体的上下方向的位置的调整机构，设置有防止气体通过贯通孔与松嵌合于贯通孔的灯支撑体之间的遮蔽机构。

主权项

1.一种准分子灯装置，其特征在于，具备：筐体；悬架体，被该筐体支撑；灯支撑体，被该悬架体支撑；准分子灯，被该灯支撑体支撑；以及，隔壁，设于上述准分子灯与上述悬架体之间；上述灯支撑体松嵌合于设在上述隔壁上的贯通孔并被上述悬架体支撑。