[发明专利]彩色滤光层及其制造方法有效
申请号: | 200910158834.4 | 申请日: | 2009-07-08 |
公开(公告)号: | CN101609227A | 公开(公告)日: | 2009-12-23 |
发明(设计)人: | 黄建文;林建宏;郭文瑞 | 申请(专利权)人: | 友达光电股份有限公司 |
主分类号: | G02F1/1335 | 分类号: | G02F1/1335;G03F7/00 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人: | 梁 挥;祁建国 |
地址: | 台湾*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种彩色滤光层及其制造方法,该方法提供具有一像素区域的基板,像素区域包括多个第一、第二、第三子像素区域,每一第一、第二、第三子像素区域的间距为P。在基板上设置掩模,掩模具有多个透光图案。以掩模进行曝光以及显影程序,在每一第一子像素区域形成第一颜色滤光图案。之后使掩模相对于基板往第一方向移动2N×P距离,以掩模进行曝光及显影程序,以在每一第二子像素区域形成第二颜色滤光图案,N为正整数。使掩模相对于基板往第二方向移动2M×P距离,以掩模进行第三次曝光及显影程序,在每一第三子像素区域形成第三颜色滤光图案,M为正整数,M≠N,且第二方向与第一方向相反。两相邻的子像素区域内的彩色滤光图案具有不同的轮廓。 | ||
搜索关键词: | 彩色 滤光 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种彩色滤光层的制造方法,其特征在于,包括:提供一基板,该基板上具有一像素区域,且该像素区域包括多个第一子像素区域、多个第二子像素区域以及多个第三子像素区域,其中每一第一、第二、第三子像素区域的间距为P;在该基板上设置一掩模,其中该掩模上具有多个透光图案;以该掩模进行第一次曝光以及显影程序,以于每一第一子像素区域中形成一第一颜色滤光图案;使该掩模相对于该基板往该第一方向移动2N×P的距离之后,以该掩模进行一第二次曝光以及显影程序,以于每一第二子像素区域中形成一第二颜色滤光图案,其中N为正整数;以及使该掩模相对于该基板往一第二方向移动2M×P的距离之后,以该掩模进行一第三次曝光以及显影程序,以于每一第三子像素区域中形成一第三颜色滤光图案,其中M为正整数,M不等于N,且该第二方向与该第一方向相反,其中两相邻的所述第一、第二以及第三子像素区域内的彩色滤光图案具有不相同的轮廓。
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