[发明专利]熔化硅的方法和系统无效
| 申请号: | 200910143991.8 | 申请日: | 2009-06-05 |
| 公开(公告)号: | CN101691220A | 公开(公告)日: | 2010-04-07 |
| 发明(设计)人: | 阿尔伯利切特·莫泽尔 | 申请(专利权)人: | 岑特罗特姆硅技术有限公司 |
| 主分类号: | C01B33/021 | 分类号: | C01B33/021;C30B29/06 |
| 代理公司: | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人: | 寿宁 |
| 地址: | 德国布*** | 国省代码: | 德国;DE |
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| 摘要: | 本发明涉及一种熔化硅的方法以及一种用于熔化硅的系统,在所述方法中,从硅原料(2)截取(40)硅块(4、14、24),其中,按照使得硅块能够布置在坩埚(6)内的方式确定硅块(4、14、24)的尺寸;将硅块(4、14、24)布置在坩埚(6)内;并且加热坩埚(6),其中,在将硅块(4、14、24)布置(42)在坩埚(6)内的同时,至少部分地以硅粒(8、18、20、28)来填充(44)在坩埚壁(7)和硅块(4、14、24)之间出现的、或者在硅块(4、14、24)的实体部分之间出现的这些空腔(10)的至少一部分。 | ||
| 搜索关键词: | 熔化 方法 系统 | ||
【主权项】:
一种熔化硅的方法,在所述方法中将硅块(4、14、24)布置(42)在可加热的坩埚(6)内,并加热(46)所述坩埚(6),其特征在于在将所述硅块(4、14、24)布置(42)在所述坩埚(6)内的同时,至少部分地以硅粒(8、18、20、28)来填充(44)在坩埚壁(7)和所述硅块(4、14、24)之间出现的空腔(10)或者在所述硅块(4、14、24)的实体部分之间出现的空腔(10)的至少一部分。
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