[发明专利]聚合物和含有该聚合物的化学放大型抗蚀剂组合物

摘要

本发明提供聚合物和含有该聚合物的化学放大型抗蚀剂组合物，聚合物包含：式(Ia)或(Ib)表示的结构单元，其中R¹、R²、R³、n、Z¹、k、R⁴、R⁵和m具有与说明书相同的含义；式(II)表示的结构单元，其中R⁶、R⁷、R⁸、R⁹、n′、Z²、k′、R²¹、R²²和R²³具有与说明书相同的含义；以及选自由式(IIIa)、(IIIb)、(IIIc)、(IIId)和(IIIf)表示结构单元中的至少一个结构单元，其中R¹⁰、R¹¹、R¹²、j、a、b、c、Z³和k″具有与说明书相同的含义。

主权项

1.一种聚合物，所述聚合物包含：由式(Ia)或(Ib)表示的结构单元，其中R¹表示氢原子或甲基，R²表示直链、支链或环状C1-C8烷基，R³表示甲基，n表示0至14的整数，Z¹表示单键或-[CH₂]_k-COO-，k表示1至4的整数，R⁴和R⁵各自独立地表示氢原子或可以具有一个或多个杂原子的C1-C8一价烃基，或者R⁴和R⁵可以结合以形成C1-C8二价烃基，所述C1-C8二价烃基可以具有一个或多个杂原子，并且可以与R⁴和R⁵所键合的相邻碳原子一起形成环，或者R⁴和R⁵可以结合以在R⁴所键合的碳原子和R⁵所键合的碳原子之间形成碳-碳双键，并且m表示1至3的整数，由式(II)表示的结构单元：其中R⁶和R⁷各自独立地表示氢原子、甲基或羟基，R⁸表示甲基，R⁹表示氢原子或甲基，n′表示0至12的整数，Z²表示单键或-[CH₂]_k′-COO-，k′表示1至4的整数，R²¹和R²²各自独立地表示氢原子或C1-C4烷基，并且R²³表示C1-C30一价烃基；以及选自由式(IIIa)、(IIIb)、(IIIc)、(IIId)、(IIIe)和(IIIf)表示的结构单元中的至少一个结构单元：其中R¹⁰表示氢原子或甲基，R¹¹表示甲基，R¹²在每种情况下都独立地为羧基、氰基或C1-C4烃基，j表示0至3的整数，a表示0至5的整数，b表示0至3的整数，c表示0至(2j+2)的整数，Z³表示单键或-[CH₂]_k″-COO-基团，并且k″表示1至4的整数。