[发明专利]用于检测透明基板表面和/或其内部的缺陷的方法及系统

摘要

本发明公开了一种用于检测透明基板表面和/或其内部的缺陷的系统和方法。所述系统包括：至少一个成像元件，对基板进行扫描；至少两个光源，对基板进行不同模式的照明；传送装置，使得基板与至少一个成像元件和两个光源之间产生相对移动；以及控制装置，控制至少两个光源以及至少一个成像元件的操作，使得至少两个光源中的全部或部分光源可以不同时接通，并使得至少一个成像元件中的至少一个在基板被照明时对其进行扫描，从而使得至少一个成像元件与至少两个光源构成至少两个检测通道。本发明中通过共用成像装置和光源地提供不同照明模式的多个通道的图像，从而结构紧凑、占用空间小；控制使得多个光源不同时接通，从而减少了多通道干扰的影响。

主权项

一种用于检测透明基板表面和/或其内部的缺陷的系统，包括：至少一个成像元件，用于对所述基板进行扫描；至少两个光源，用于对所述基板进行不同模式的照明；传送装置，用于使得所述基板与所述至少一个成像元件和至少两个光源之间产生相对移动；以及控制装置，用于控制至少两个光源以及至少一个成像元件的操作，使得所述至少两个光源中的全部或部分光源可以不同时接通，并使得至少一个成像元件中的至少一个在基板被照明时对其进行扫描，从而使得所述至少一个成像元件与所述至少两个光源构成关于所述基板的至少两个检测通道。