[发明专利]无尘室系统有效
| 申请号： | 200910137881.0 | 申请日： | 2009-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN101551144A | 公开（公告）日： | 2009-10-07 |
| 发明（设计）人： | 林高平;陈福源;赵育舜;张振彰 | 申请（专利权）人： | 友达光电股份有限公司 |
| 主分类号： | F24F3/16 | 分类号： | F24F3/16;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开一种无尘室系统，具有一作业空间、一回风室、一收集室及一过滤室。其中，回风室可配置于作业空间的一侧，而该侧可为作业空间的一边界，并与作业空间形成连通的状态，而作业空间具有一第一气体压力，回风室也具有一第二气体压力，且第一气体压力大于第二气体压力。当配置于作业空间中的一移动机台于作业空间中往复来回移动时，将使作业空间中的气体产生流动，使气体碰撞于作业空间的边界，而使无尘室系统内的气体自作业空间向回风室流动。 | ||
| 搜索关键词： | 无尘室 系统 | ||
【主权项】：
1、一种无尘室系统，具有一作业空间，该无尘室系统包含：移动机台，其配置于该作业空间中，且该移动机台可在该作业空间中往复来回移动，并在移动时使该作业空间中的气体产生流动，使气体碰撞于该作业空间的一边界，而该作业空间具有一第一气体压力；回风室，其配置于该作业空间的一侧，并与该作业空间形成连通的状态，且该侧为该作业空间的该边界，该回风室具有一第二气体压力；收集室，该收集室位于该作业空间及该回风室的底部，并吸取该作业空间及该回风室的气体；以及过滤室，该过滤室位于该作业空间的顶部，且与该收集室连通，并将该收集室所吸取的气体经由过滤后，再将气体供应至该作业空间；其中该第一气体压力大于该第二气体压力，而使该无尘室系统内的气体自该作业空间向该回风室流动。
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