[发明专利]无尘室系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种无尘室系统，特别是涉及一种具有可降低特定回风死角或积尘点进行吸取动作的系统。 

背景技术

目前，半导体装置及液晶显示器(LCD)必须在极精密的处理条件下制造。而需在极清洁的环境中处理。一般无尘室中，技术人员需穿戴特殊的防尘服工作以减少异物(例如，灰尘)的产生。且为使其内部能维持一定的洁净度，会在无尘室的上方位置设置多数个风扇滤网机组(FFU，Fan Filter Unit)，以由该等风扇滤网机组输入具一定洁净度的气体进入于无尘室内部，该无尘室的上部维持在一稍高于该无尘室底部处的压力，以使空气(清洁空气)在该无尘室中向下流动。格栅(具有孔的面板)提供该无尘室的地板以便经由该地板排放空气，用于，将该无尘室内空气所携带的污染物引导至该无尘室的地板并经由该格栅排放至FFU，以维持仓储内部的洁净度。 

由上述可知，无尘室的设计主要是采用气流(Air Flow)的理念形成一封闭型式的环境，利用FFU产生洁净气体将原本环境内部的脏空气带走，再由滤网过滤脏空气内的微粒子(Particle)，进而达到符合无尘等级的环境。产品在生产过程时须保持非常高的洁净等级，否则对产品良率将造成极大的影响。然而，因无尘室环境较大，且在加装有移动机台后，其往复运动将形成空气扰流或乱流而形成积尘死角，或进而造成扬尘的现象。请参阅图1，其为现有技术的无尘室系统的俯视示意图。无尘室系统6包含有一作业空间60、一仓储空间70、一收集室(图未示)及一过滤室(图未示)，以通过气流理念形成一封闭的循环环境。该作业空间60及该仓储空间70分别具有可往复来回作动一移动机台600及一移载机700，移动机台600可搭载一机械手臂(图未示)。移动机台600及移载机700在作动时将会带动附近的气体产生流动，因此容易在作业空间60及仓储空间70的边界形成积尘死角，或甚者，气流碰撞物体或壁面，更可能造成扬尘的现象。此现象将使无尘室的 环境的微粒子浓度提高，以致于容易造成无尘室内的物品容易附着于悬浮的微粒子，而无法达到本来符合生产环境等级。 

有鉴于现有技术的各项问题，为了能够兼顾解决之，本发明人基于多年研究开发与诸多实务经验，提出一种无尘室系统，以作为改善上述缺点的实现方式与依据。 

发明内容

有鉴于上述现有技术的问题，本发明的其中一目的在于提供一种无尘室系统，以降低无尘室内微粒子所造成的影响。 

缘是，本发明提出一种无尘室系统，具有一作业空间、一回风室、一收集室及一过滤室。回风室可配置于作业空间的一侧，而该侧可为作业空间的一边界，并与作业空间形成连通的状态。收集室可位于作业空间及回风室的底部，并吸取作业空间及回风室的气体。过滤室可位于作业空间的顶部，且与收集室连通，并将收集室所吸取的气体经由过滤后，再将气体供应至作业空间。其中，无尘室系统包含有一移动机台，其可配置于作业空间中，且移动机台可在作业空间中往复来回移动，并在移动时使作业空间中的气体产生流动，使气体碰撞于作业空间的边界，而作业空间具有一第一气体压力。回风室具有一第二气体压力。其中第一气体压力大于第二气体压力，而使无尘室系统内的气体自作业空间向回风室流动。 

本发明再提出一种无尘室系统，具有一仓储空间、一回风室、一收集室及一过滤室。回风室可配置于仓储空间的一侧，而该侧可为仓储空间的一边界，并与仓储空间形成连通的状态。收集室可位于仓储空间及回风室的底部，并吸取仓储空间及回风室的气体。过滤室可位于仓储空间的顶部，且与收集室连通，并将收集室所吸取的气体经由过滤后，再将气体供应至仓储空间。其中，无尘室系统包含有一移载机，其可配置于仓储空间中，且移载机可在仓储空间中往复来回移动，并在移动时使仓储空间中的气体产生流动，使气体碰撞于仓储空间的边界，而仓储空间具有一第三气体压力。回风室具有一第二气体压力。其中第三气体压力大于第二气体压力，而使无尘室系统内的气体自仓储空间向回风室流动。 

承上所述，依本发明的无尘室系统，其可具有一或多个下述优点： 

(1)此系统可降低无尘室内微粒子所造成的影响，用以提升良率。 

(2)此系统可利用压差原理，使压力高的气体流向压力低的地方，而无需增设任何电源，因此无耗费额外电力的问题。 

为使熟悉该项技术人士了解本发明的目的、特征及功效，兹通过下述具体实施例，并配合所附的附图，详加说明如后。 

附图说明

图1为现有技术的无尘室系统的俯视示意图； 

图2为本发明的无尘室系统的实施例的俯视示意图；