[发明专利]无尘室系统

权利要求书

1.一种无尘室系统，具有一作业空间，该无尘室系统包含：

移动机台，其配置于该作业空间中，且该移动机台可在该作业空间中往 复来回移动，并在移动时使该作业空间中的气体产生流动，使气体碰撞于该 作业空间的一边界，而该作业空间具有一第一气体压力；

回风室，其配置于该作业空间的一侧，并与该作业空间形成连通的状态， 且该侧为该作业空间的该边界，该回风室具有一第二气体压力；

收集室，该收集室位于该作业空间及该回风室的底部，并吸取该作业空 间及该回风室的气体；以及

过滤室，该过滤室位于该作业空间的顶部，且与该收集室连通，并将该 收集室所吸取的气体经由过滤后，再将气体供应至该作业空间；

其中该第一气体压力大于该第二气体压力，而使该无尘室系统内的气体 自该作业空间向该回风室流动。

2.如权利要求1所述的无尘室系统，还包括有一止逆流机构，配置于 该作业空间与该回风室连通处。

3.如权利要求2所述的无尘室系统，还包含有一仓储空间，该作业空 间位于该仓储空间的一侧，而该收集室位于该作业空间、该回风室及该仓储 空间的底部且该过滤室位于该作业空间及该仓储空间的顶部，其中该收集室 吸取该作业空间、该回风室及该仓储空间的气体，且该过滤室将该收集室所 吸取的气体经由过滤后，将气体供应至该作业空间及该仓储空间。

4.如权利要求3所述的无尘室系统，其中该回风室延伸有一回风道至 该仓储空间，该仓储空间内具有一第三气体压力，且该第三气体压力大于该 第二气体压力，而使该无尘室系统内的气体自该仓储空间向该回风室流动。

5.如权利要求4所述的无尘室系统，其中该回风道配置有一滤网结构。

6.如权利要求5所述的无尘室系统，其中该回风道于该滤网结构的一 侧配置有一集尘槽，且该侧面对于该仓储空间。

7.如权利要求1所述的无尘室系统，其中该移动机台在该作业空间中 具有一移动路径，并在该移动路径上往复来回移动。

8.如权利要求7所述的无尘室系统，其中该移动路径由一轨道所形成。

9.如权利要求1所述的无尘室系统，其中该边界为一壁面。

10.一种无尘室系统，具有一仓储空间，该无尘室系统包含：

移载机，其配置于该仓储空间中，且该移载机可在该仓储空间中往复来 回移动，并在移动时使该仓储空间中的气体产生流动，使气体碰撞于该仓储 空间的一边界，而该仓储空间具有一第三气体压力；

回风室，其配置于该仓储空间的一侧，并与该仓储空间形成连通的状态， 且该侧为该仓储空间的该边界，该回风室具有一第二气体压力；

收集室，该收集室位于该仓储空间及该回风室的底部，并吸取该仓储空 间及该回风室的气体；以及

过滤室，该过滤室位于该仓储空间的顶部，且与该收集室连通，并将该 收集室所吸取的气体经由过滤后，再将气体供应至该仓储空间；

其中该第三气体压力大于该第二气体压力，而使该无尘室系统内的气体 自该仓储空间向该回风室流动。

11.如权利要求10所述的无尘室系统，还包括有一止逆流机构，配置 于该仓储空间与该回风室连通处。

12.如权利要求11所述的无尘室系统，还包含有一作业空间，该作业 空间位于该仓储空间的一侧，而该收集室位于该仓储空间、该回风室及该作 业空间的底部且该过滤室位于该仓储空间及该作业空间的顶部，其中该收集 室吸取该仓储空间、该回风室及该作业空间的气体，且该过滤室将该收集室 所吸取的气体经由过滤后，将气体供应至该仓储空间及该作业空间。

13.如权利要求12所述的无尘室系统，其中该回风室延伸有一回风道 至该作业空间，该作业空间内具有一第一气体压力，且该第一气体压力大于 该第二气体压力，而使该无尘室系统内的气体自该作业空间向该回风室流 动。

14.如权利要求13所述的无尘室系统，其中该回风道配置有一滤网结 构。