[发明专利]溅射靶有效
| 申请号： | 200910134430.1 | 申请日： | 2009-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN101555585A | 公开（公告）日： | 2009-10-14 |
| 发明（设计）人： | 松前和男 | 申请（专利权）人： | 三井金属矿业株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京金信立方知识产权代理有限公司 | 代理人： | 黄 威;张 彬 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明的目的在于提供一种溅射靶，其在使用冷却水冷却靶材的同时进行溅射等情况下，在背板上发生翘曲时也不产生靶材的裂纹或脱落等。本发明的溅射靶的特征在于，包括：靶材；背板；至少一个缓冲板，其被设置在所述靶材和所述背板之间；接合材料，将所述靶材、背板以及缓冲板接合成一体。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 | ||
【主权项】：
1、一种溅射靶，其特征在于，包括：靶材；背板；至少一个缓冲板，其被设置在所述靶材和所述背板之间；接合材料，用于将所述靶材、背板以及缓冲板接合成一体。
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