[发明专利]溅射靶

说明书

技术领域

本发明涉及溅射靶，尤其涉及一种用大量的冷却水冷却靶材的同时进行溅射，靶材也不易产生裂纹的溅射靶。 

背景技术

一直以来，作为例如半导体等的电子/电器部件用材料的成膜法，广泛使用能够容易控制膜厚度和成分的溅射法。 

在此类溅射法中使用的溅射靶，一般通过接合材料对靶材和背板进行接合而构成，该靶材由需要形成的薄膜相同的材料组成，该背板由具有优良的导电性以及导热性的材料组成。在需要使用大面积的靶材时，采用一种使用多个分割靶材，施加磁场的同时进行溅射的方法。 

若使用此类溅射靶进行溅射，靶材发热会降低溅射的效率。因此，在进行溅射的过程中需要对靶材进行冷却。 

作为对靶材进行冷却的方法，通常采用在背板上设置用于流通冷却水的冷却水流通道，在该冷却水流通道中流通冷却水，通过冷却背板，而从靶材中吸收热量的方法。在该方法中，一般冷却水流通道是从设置在背板一端部的底面上的流通道入口垂直向上方延伸，到达靶材的正下方后，横穿背板的中央部并延伸至另一端部，再到达设在背板底面的出口。当如上所述施加磁场的同时进行溅射时，通常由于靶材的端部承受巨大的力，所以尤其在该部分上的发热量较多。因此，若如上所述在靶材端部的下方周边部设置流通道入口，从此处通过冷却水流通道向靶材端部的正下部流通冷却水，则能有效地进行靶材的冷却。另外，为了能够更有效地对靶材端部进行冷却，而将靶材端部的正下方周边部中的冷却水流通道加宽，或者使背板较薄。 

但是，若使用冷却水对靶材进行冷却，则容易在靶材上产生裂纹。具有冷却水量越多越该靶材的裂纹多的倾向。并且，所述靶材的裂纹多出现在冷却水流通道入口的上方部，尤其在上述的冷却水流通道入口的上方部会承受 巨大的力，当发热量多时将会明显地产生裂纹。所述靶材的裂纹的原因之一，是由于冷却水的水压等而在背板上发生翘曲。 

近几年，通过溅射而在大型基板上成膜的需要日益增多，随之靶材也在大型化，在这种状况下，需要提高溅射的成膜速度，所以必须投入很大的电力，生成的热量自然也将增多。在这种状况下要有效地冷却靶材，则需要在上述发热量较多的部分上直接使冷却水流通，并需要增加冷却水量。但是，这样则如上所述将会大量产生靶材的裂纹。现状处于这种矛盾的状况。 

并且，由于在真空中进行溅射，所以背板在靶材被设置的方向上将承受强力，有时会在背板上产生翘曲。由于该背板的翘曲，在被背板粘接的靶材上有时会产生裂纹。 

作为使用冷却水冷却靶材的同时而进行溅射时所发生的靶材翘曲、裂纹以及脱落的防止方法，已在特开平6-65728号公报中公开了一种方法，是将背板与靶材的接合区域限制在靶材构件的外周部分以外的范围的方法。 

但是，该方法的对象并不是向溅射靶施加磁场而进行的溅射，将该方法应用于具有上述的靶材端部承受巨大力而在该部分上尤其容易产生裂纹情况的溅射中，无法获得充分的效果。 

专利文献1：日本专利特开平6-65728号公报 

发明内容

本发明的目的在于提供一种溅射靶，其在使用冷却水冷却靶材的同时进行溅射等引起背板发生翘曲时，不产生靶材的裂纹或脱落等。 

为了实现上述目的，本发明的溅射靶的特征在于，包括：靶材；背板；至少一个缓冲板，其被设置在所述靶材和所述背板之间；接合材料，将所述靶材、背板以及缓冲板接合成一体。 

所述溅射靶的优选方式为，所述靶材由多个分割靶材所构成，在至少一个该分割靶材的下方，层压有至少一个具有与该分割靶材大致相同的平面形状的所述缓冲板， 

将所述多个分割靶材配置成，使所述溅射靶的表面大致处于同一平面， 

所述缓冲板的材料与所述背板的材料相同， 

所述缓冲板的厚度为0.5～10mm， 

当缓冲板为1个时，介于所述靶材和所述缓冲板之间的由所述接合材料所形成的接合层的厚度，以及介于所述背板和所述缓冲板之间的由所述接合材料所形成的接合层的厚度之和为0.25～4.5mm；当缓冲板为两个以上时，介于所述靶材和所述缓冲板之间的由所述接合材料所形成的接合层的厚度，和介于所述背板和所述缓冲板之间的由所述接合材料所形成的接合层的厚度，以及介于所述缓冲板和缓冲板之间的由所述接合材料所形成的接合层的厚度之总和为0.25～4.5mm， 

所述靶材的材料是通过粉末治金制造的材料， 

所述靶材的材料为陶瓷， 

所述背板具备冷却水流通道，用于流通对所述靶材进行冷却的冷却水。