[发明专利]探针卡有效

专利信息
申请号: 200910132376.7 申请日: 2009-04-01
公开(公告)号: CN101853796A 公开(公告)日: 2010-10-06
发明(设计)人: 周咏晃;顾伟正;苏文彬;赖俊良;谢昭平;廖秉孝 申请(专利权)人: 旺矽科技股份有限公司
主分类号: H01L21/66 分类号: H01L21/66;G01R31/28
代理公司: 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 代理人: 陈怡;颜涛
地址: 中国台湾新*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明公开了一种探针卡,经由配置一变换器、一调变器与一功率分配单元,分别对探针卡传输的数字讯号进行串行化、模拟化与分流化变换,使探针卡能扩张讯号传输通道,同时测试更多受测物,而不受限于测试机既有的讯号通道数,更能够使本发明的探针卡,在使用时具备良好的讯号通道隔离度及阻抗匹配的特性,并可达成测试效率的提升以及减少讯号传输损耗与杂讯的目的。
搜索关键词: 探针
【主权项】:
一种探针卡,其特征在于,连接于一测试机与一受测物,包括:一第一变换器,连接于该测试机,以串行化该测试机所输出的一讯号为一串行讯号;一调变器,连接于该第一变换器,以模拟化该第一变换器所输出的该串行讯号为一模拟串行讯号;一功率分配单元,连接于该调变器,以分流该调变器所输出的该模拟串行讯号至多个传输通道;一解调器,连接于该些传输通道,以数字化该些传输通道所输出的该模拟串行讯号为一数字串行讯号;及一第二变换器,连接于该解调器,以并行化该解调器所输出的该数字串行讯号,并输出一数字并行讯号至该受测物。
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