[发明专利]探针卡有效
申请号: | 200910132376.7 | 申请日: | 2009-04-01 |
公开(公告)号: | CN101853796A | 公开(公告)日: | 2010-10-06 |
发明(设计)人: | 周咏晃;顾伟正;苏文彬;赖俊良;谢昭平;廖秉孝 | 申请(专利权)人: | 旺矽科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;G01R31/28 |
代理公司: | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人: | 陈怡;颜涛 |
地址: | 中国台湾新*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开了一种探针卡,经由配置一变换器、一调变器与一功率分配单元,分别对探针卡传输的数字讯号进行串行化、模拟化与分流化变换,使探针卡能扩张讯号传输通道,同时测试更多受测物,而不受限于测试机既有的讯号通道数,更能够使本发明的探针卡,在使用时具备良好的讯号通道隔离度及阻抗匹配的特性,并可达成测试效率的提升以及减少讯号传输损耗与杂讯的目的。 | ||
搜索关键词: | 探针 | ||
【主权项】:
一种探针卡,其特征在于,连接于一测试机与一受测物,包括:一第一变换器,连接于该测试机,以串行化该测试机所输出的一讯号为一串行讯号;一调变器,连接于该第一变换器,以模拟化该第一变换器所输出的该串行讯号为一模拟串行讯号;一功率分配单元,连接于该调变器,以分流该调变器所输出的该模拟串行讯号至多个传输通道;一解调器,连接于该些传输通道,以数字化该些传输通道所输出的该模拟串行讯号为一数字串行讯号;及一第二变换器,连接于该解调器,以并行化该解调器所输出的该数字串行讯号,并输出一数字并行讯号至该受测物。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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