[发明专利]薄膜太阳能电池大规模生产的制造装置与方法

摘要

一种完全通过溅射包括高效率背接触/反射多层的制造改进的薄膜太阳能电池的方法，该背接触/反射多层包含由过渡金属氮化物组成的至少一个阻挡层。使用双圆柱体旋转磁控管技术，从特别准备的电传导靶共溅射二硒化铜铟镓(Cu(InxGal-X)Se2)吸收体层(X的范围从1至约0.1)。通过改变镓的含量，可以分级吸收体层的带隙。在硒化氢气体中，从金属合金靶反应溅射交替的吸收体层。RF溅射用于沉积不包含镉的ZnS窗口层。反应溅射顶部透明电极ZnO掺杂铝。描述了专用模块真空卷装溅射机器。该机器适于与双圆柱体旋转磁控管一体化，在单一途径中以制造改进的太阳能电池材料。

主权项

1. 一种制造太阳能电池的方法，包括：通过从第一传导靶和第二传导靶进行溅射，沉积p型半导体吸收体层，其中所述p型半导体吸收体层包括基于二硒化铜铟(CIS)的合金材料，使得所述沉积的p型半导体吸收体层是铜不足的；其中第一靶包括铜和硒的混合物，或铜、铟以及铝和镓的至少之一的混合物；以及第二靶包括铟、硒以及铝和镓的至少之一的混合物，或铜、铟以及铝和镓的至少之一的混合物。