[发明专利]探针卡的倾斜调整方法和探针卡的倾斜检测方法有效
| 申请号： | 200910118133.8 | 申请日： | 2009-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN101520501A | 公开（公告）日： | 2009-09-02 |
| 发明（设计）人： | 山田浩史;渡边哲治;川路武司 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01R35/00 | 分类号： | G01R35/00;G01R1/073;G05D3/12;G01B7/02;G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙 淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种探针卡的倾斜调整方法和倾斜检测方法，能够不受探针的针尖高度偏差的影响，迅速地对探针卡的倾斜进行调整。探针卡的倾斜调整方法包括：第一工序，在将探针卡(12)安装在探针装置(10)上后，在为了使能够移动的晶片卡盘(11)的载置面与探针卡(12)相平行而对探针卡(12)的倾斜进行调整时，使用针尖位置检测装置(16)在探针卡(12)的多个位置检测出多个探针(12A)的平均针尖高度；第二工序，根据多个位置各自的多个探针(12A)的平均针尖高度的高低差求出探针卡(12)相对于晶片卡盘(11)的倾斜；和第三工序，对探针卡(12)的倾斜进行调整。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 倾斜 调整 方法 检测 | ||
【主权项】：
1. 一种探针卡的倾斜调整方法，其特征在于：该探针卡的倾斜调整方法在将探针卡安装在探针装置上之后，对所述探针卡的倾斜进行调整，使得载置被检查体的能够移动的载置台的载置面与所述探针卡平行，其包括：第一工序，使用针尖位置检测装置在所述探针卡的多个场所检测出多个探针的平均针尖高度；第二工序，根据所述多个场所各自的多个探针的平均针尖高度的高低差求出所述探针卡相对于所述载置台的倾斜；和第三工序，对所述探针卡的倾斜进行调整。
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