[发明专利]一种生产线设备的温度监控方法及装置有效
| 申请号： | 200910090172.1 | 申请日： | 2009-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN101620448A | 公开（公告）日： | 2010-01-06 |
| 发明（设计）人： | 付金生 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | G05D23/19 | 分类号： | G05D23/19;G08B21/18 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 | 代理人： | 苏培华 |
| 地址： | 100016北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种生产线设备的升温监控方法，包括：步骤S11.检测被加热体的第一当前温度；步骤S12.依据所述第一当前温度从预置的工艺温度曲线中查找所匹配的监控点；步骤S13.按照从所匹配监控点升温至下一监控点的时间增量继续升温后，检测被加热体的第二当前温度；步骤S14.判断从第一当前温度到第二当前温度的温度增量，是否大于或等于从所匹配监控点至下一监控点的温度增量；若是，则执行步骤S15；若否，则记录温度异常信息；步骤S15.判断第二当前温度是否低于预置目标升温温度；若是，则将第二当前温度作为第一当前温度返回步骤S12；若否则结束。本发明可以在提高产品合格率、降低成本的基础上，在生产线设备的温度调整过程中进行实时控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 生产线 设备 温度 监控 方法 装置 | ||
【主权项】：
1、一种生产线设备的升温监控方法，其特征在于，包括：步骤S11、检测升温工艺过程中被加热体的第一当前温度；步骤S12、依据所述第一当前温度从预置的工艺温度曲线中查找所匹配的监控点；其中，所述预置的工艺温度曲线由多个监控点形成，各监控点由一温度值及一时间值确定；步骤S13、按照从所匹配监控点升温至下一监控点的时间增量继续相应时间的升温后，检测所述被加热体的第二当前温度；步骤S14、判断从第一当前温度到第二当前温度的温度增量，是否大于或等于从所匹配监控点至下一监控点的温度增量；若是，则执行步骤S15；若否，则记录温度异常信息；步骤S15、判断所述第二当前温度是否低于预置目标升温温度；若是，则将第二当前温度作为第一当前温度返回步骤S12；若否，则结束当前的升温工艺过程。
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