[发明专利]一种生产线设备的温度监控方法及装置有效
申请号: | 200910090172.1 | 申请日: | 2009-07-29 |
公开(公告)号: | CN101620448A | 公开(公告)日: | 2010-01-06 |
发明(设计)人: | 付金生 | 申请(专利权)人: | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
主分类号: | G05D23/19 | 分类号: | G05D23/19;G08B21/18 |
代理公司: | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 | 代理人: | 苏培华 |
地址: | 100016北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 生产线 设备 温度 监控 方法 装置 | ||
1.一种生产线设备的升温监控方法,其特征在于,包括:
步骤S11、检测升温工艺过程中被加热体的第一当前温度;
步骤S12、依据所述第一当前温度从预置的工艺温度曲线中查找所 匹配的监控点;其中,所述预置的工艺温度曲线由多个监控点形成,各 监控点由一温度值及一时间值确定;
步骤S13、按照从所匹配监控点升温至下一监控点的时间增量继续 相应时间的升温后,检测所述被加热体的第二当前温度;
步骤S14、判断从第一当前温度到第二当前温度的温度增量,是否 大于或等于从所匹配监控点至下一监控点的温度增量;若是,则执行步 骤S15;若否,则记录温度异常信息,所述温度异常信息为温度异常次 数,所述的方法还包括:判断当前记录的温度异常次数是否超出预设的 次数阈值,若是,则输出报警信息;否则,执行步骤S15;
步骤S15、判断所述第二当前温度是否低于预置目标升温温度;若 是,则将第二当前温度作为第一当前温度返回步骤S12;若否,则结束 当前的升温工艺过程,其中,所述预置目标升温温度为比当前升温工艺 的最高升温温度低不足一个温度增量的任一值。
2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述预置的工艺温度 曲线为:
依据预设的到达目标升温温度的n个温度增量执行升温工艺,并记 录升温各个温度增量后所对应的n组温度值及时间值,由各组温度值及 时间值形成的监控点生成预置的工艺温度曲线。
3.一种生产线设备的降温监控方法,其特征在于,包括:
步骤S21、检测降温工艺过程中被冷却体的第一当前温度;
步骤S22、依据所述第一当前温度从预置的工艺温度曲线中查找所 匹配的监控点;其中,所述预置的工艺温度曲线由多个监控点形成,各 监控点由一温度值及一时间值确定;
步骤S23、按照从所匹配监控点降温至下一监控点的时间增量继续 相应时间的降温后,检测所述被冷却体的第二当前温度;
步骤S24、判断从第一当前温度到第二当前温度的温度减量,是否 大于或等于从所匹配监控点至下一监控点的温度减量;若是,则执行步 骤S15;若否,则记录温度异常信息,所述温度异常信息为温度异常次 数,所述的方法还包括:判断当前记录的温度异常次数是否超出预设的 次数阈值,若是,则输出报警信息;否则,执行步骤S25;
步骤S25、判断所述第二当前温度是否高于预置目标降温温度;若 是,则将第二当前温度作为第一当前温度返回步骤S22—S24;若否,则 结束当前的降温工艺过程,其中,所述预置目标降温温度为比当前升温 工艺的最低降温温度高于一温度减量的任一值。
4.如权利要求3所述的方法,其特征在于,所述预置的工艺温度 曲线为:
依据预设的到达目标降温温度的n个温度减量执行降温工艺,并记 录降温各个温度减量后所对应的n组温度值及时间值,由各组温度值及 时间值形成的监控点生成预置的工艺温度曲线。
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