[发明专利]一种等离子体处理设备及其顶针升降装置有效
| 申请号： | 200910085515.5 | 申请日： | 2009-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN101899715A | 公开（公告）日： | 2010-12-01 |
| 发明（设计）人： | 张小昂 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | C30B33/12 | 分类号： | C30B33/12;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 魏晓波;逯长明 |
| 地址： | 100016 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种顶针升降装置，用于等离子体处理设备，包括上端连接顶针的中心导杆、至少两个支撑中心导杆的支撑臂，和带动支撑臂竖直运动的驱动部件，中心导杆与支撑臂可活动地连接，以便两者在支撑臂的延伸方向上的相对位置能够改变。当支撑臂由于各种原因而在升降过程中产生水平方向的位移时，支撑臂并未限制中心导杆水平方向的自由度，因此，支撑臂在水平方向上的位置改变不会影响中心导杆的竖直运动，使得中心导杆在升降的过程中始终保持竖直，提高了装置的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子体 处理 设备 及其 顶针 升降 装置 | ||
【主权项】：
一种顶针升降装置，用于等离子体处理设备，包括连接顶针的中心导杆、至少两个支撑所述中心导杆的支撑臂，和带动所述支撑臂竖直运动的驱动部件；其特征在于，所述中心导杆与所述支撑臂可活动地连接，以便两者在所述支撑臂的延伸方向上的相对位置能够改变。
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