[发明专利]一种基于杠杆放大原理的静电驱动MEMS变形镜无效
| 申请号： | 200910078194.6 | 申请日： | 2009-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN101515065A | 公开（公告）日： | 2009-08-26 |
| 发明（设计）人： | 姚军;任豪;王大甲 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 | 代理人： | 李新华;徐开翟 |
| 地址： | 610209*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于杠杆放大原理的MEMS变形镜，包含至少两个杠杆放大静电驱动器，至少两个连接梁，一个支撑结构和一个镜面；杠杆放大静电驱动器通过连接梁与支撑结构连接，支撑结构通过连接体与镜面相连；所述的杠杆放大静电驱动器由锚点，悬臂梁，长臂，上极板和下极板组成；其长臂与连接梁相连，其短臂用作上极板，锚点和下极板固定在同一平面上。本发明基于杠杆放大的静电驱动MEMS变形镜不仅具有一般MEMS器件的优点，体积小、重量轻、无滞后效应、可批量生产和可阵列化，还可以通过杠杆放大作用降低静电拉入现象的影响，提高行程，可广泛适用于自适应光学领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 杠杆 放大 原理 静电 驱动 mems 变形 | ||
【主权项】：
1、一种基于杠杆放大原理的MEMS变形镜，其特征在于：包含至少两个杠杆放大静电驱动器，至少两个连接梁(1)，一个支撑结构(2)和一个镜面(8)；杠杆放大静电驱动器通过连接梁(1)与支撑结构(2)连接，支撑结构(2)通过连接体(3)与镜面(8)相连。
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