[发明专利]一种风车型划片槽的旋转测试方法有效
| 申请号： | 200910057080.3 | 申请日： | 2009-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN101865706A | 公开（公告）日： | 2010-10-20 |
| 发明（设计）人： | 王雷 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | G01D21/00 | 分类号： | G01D21/00;G01B11/02 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 王函 |
| 地址： | 201206 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种风车型划片槽的旋转测试方法，该方法利用风车型划片槽曝光后，相邻曝光单元划片槽互相拼接的特点，使用一组镜像对称且互补的图像作为旋转测试图样分别放置在曝光单元的不同方向的划片槽上，通过曝光后产生的互相拼接的图像，可以直观的通过显微镜目测检查是否存在图形旋转。本发明可快速有效地检查出风车型划片槽的硅片曝光过程是否存在图形旋转。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 风车 划片 旋转 测试 方法 | ||
【主权项】：
一种风车型划片槽的旋转测试方法，其特征是：包括如下步骤：(1)产生两个镜像对称且互补的图像作为旋转测试图样；(2)将两个图像分别放置在风车型划片槽的两端；(3)曝光完成后检查相邻两曝光单元曝光后重合的两个检测图形确定是否存在曝光单元旋转。
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