[发明专利]扫描晶圆表面图像的方法有效
| 申请号： | 200910053375.3 | 申请日： | 2009-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN101929846A | 公开（公告）日： | 2010-12-29 |
| 发明（设计）人： | 金灿;陈忠奎 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 谢安昆;宋志强 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种扫描晶圆表面图像的方法，包括如下步骤：A、根据晶圆的轮廓获取晶圆的轮廓，并设置扫描的基本单元；B、判断当前所要扫描的基本单元是否位于晶圆的边缘，若是将扫描方向调整为从晶圆内向晶圆边缘外的方向；C、按照调整后的方向扫描所述基本单元，扫描完毕后转至步骤B。本发明方案可以解决现有技术中对晶圆表面扫描时边缘失焦的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 表面 图像 方法 | ||
【主权项】：
一种扫描晶圆表面图像的方法，包括如下步骤：A、获取晶圆的轮廓，并设置扫描的基本单元；B、根据晶圆的轮廓判断当前所要扫描的基本单元是否位于晶圆的边缘，若是将扫描方向调整为从晶圆内向晶圆边缘外的方向；C、按照调整后的方向扫描所述基本单元，扫描完毕后转至步骤B。
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