[发明专利]扫描晶圆表面图像的方法

权利要求书

1.一种扫描晶圆表面图像的方法，包括如下步骤：

A、获取晶圆的轮廓，并设置扫描的基本单元；

B、根据晶圆的轮廓判断当前所要扫描的基本单元是否位于晶圆的边缘，若是将扫描方向调整为从晶圆内向晶圆边缘外的方向；

C、按照调整后的方向扫描所述基本单元，扫描完毕后转至步骤B。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤C进一步包括：

在扫描过程中使用N个传感器探测探头与晶圆表面的距离，并判断所得N个探头与晶圆表面的距离的平均值h是否满足f1≤h≤f2，若是则不对探头高度进行调整，否则调整探头高度使其满足f1≤h≤f2，其中f1为探头最近成像距离，f2为探头最远成像距离，N小于探头上的传感器总数M。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述N为1。

4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，当M为偶数时，N＝M/2；当M为奇数时，N＝(M+1)/2。

5.根据权利要求2、3或4任一项所述的方法，其特征在于，所述N个传感器为距离晶圆中心最近的N个传感器。