[发明专利]一种金属化学机械抛光的浆料及其使用方法无效
| 申请号： | 200910052658.6 | 申请日： | 2009-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN101906269A | 公开（公告）日： | 2010-12-08 |
| 发明（设计）人： | 徐春 | 申请（专利权）人： | 安集微电子科技(上海)有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;H01L21/321 |
| 代理公司： | 上海翰鸿律师事务所 31246 | 代理人： | 李佳铭 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新区华东路*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于金属化学机械抛光的浆料及其使用方法，所述浆料包括研磨颗粒、氧化剂，抛光稳定剂和载体。使用本发明的化学机械抛光浆料能够提高抛光液稳定性，减少对抛光垫、抛光机台的污染，同时控制金属材料的局部和整体腐蚀，减少衬底表面污染物，提高产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 化学 机械抛光 浆料 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
一种金属化学机械抛光浆料，包含：研磨颗粒，氧化剂，抛光稳定剂和载体。
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