[发明专利]一种远心测量装置及方法有效
| 申请号： | 200910047954.7 | 申请日： | 2009-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN101520322A | 公开（公告）日： | 2009-09-02 |
| 发明（设计）人： | 郭勇 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26;G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈 蘅;李时云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种远心测量装置，包括：全息光学元件；进光孔，位于所述全息光学元件一侧的焦面上；光电传感器，位于所述全息光学元件另一侧的焦面上；数据处理系统，和所述光电传感器相连，本发明无需掩模，也无需在不同高度进行测量，提高了测量速度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种远心测量装置，其特征在于包括：全息光学元件；进光孔，位于所述全息光学元件一侧的焦面上；光电传感器，位于所述全息光学元件另一侧的焦面上；数据处理系统，和所述光电传感器相连。
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