[发明专利]硅片对准系统有效
| 申请号： | 200910047027.5 | 申请日： | 2009-03-04 |
| 公开（公告）号： | CN101487991A | 公开（公告）日： | 2009-07-22 |
| 发明（设计）人： | 孙刚;朱健 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈 蘅;李时云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种硅片对准系统，所述硅片对准系统包括照明光源系统、对准成像单元、采样模块以及硅片运动控制单元，所述照明光源系统为对准成像单元提供照明光源；所述对准成像单元为硅片对准提供准直的对准光束，并采集在所述硅片表面上反射形成的各级反射光强信号给所述采样模块；所述采样模块将各级反射光强信号转换为电信号，并进行处理得出硅片的位置信号；所述硅片运动控制单元用以控制硅片标记在对准光束下进行扫描运动，所述照明光源系统提供的照明光源为单波长的激光。本发明的硅片对准系统采用半导体激光器发射单波长光，降低了硅片对准系统的设计难度，也减小了激光器自身尺寸和重量，从而降低了光学模块设计的难度。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 对准 系统 | ||
【主权项】：
1. 一种硅片对准系统，所述硅片对准系统包括照明光源系统、对准成像单元、采样模块以及硅片运动控制单元，其特征在于：所述照明光源系统为对准成像单元提供照明光源，所述照明光源为单波长的激光；所述对准成像单元为硅片对准提供准直的对准光束，并采集在所述硅片表面上反射形成的各级反射光强信号给所述采样模块；所述采样模块将各级反射光强信号转换为电信号，并进行处理得出硅片的位置信号；所述硅片运动控制单元用以控制硅片标记在对准光束下进行扫描运动。
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