[发明专利]用于光刻设备的对准标记搜索系统及其对准标记搜索方法有效
| 申请号： | 200910046308.9 | 申请日： | 2009-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN101487985A | 公开（公告）日： | 2009-07-22 |
| 发明（设计）人： | 王海江;程鹏;李运锋;唐文力;陈振飞;刘强;宋海军;韦学志;胡明辉 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈 蘅;李时云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种用于光刻设备的对准标记搜索系统及其对准标记搜索方法。本发明提出的用于光刻设备的对准标记搜索系统包括：光学成像系统，获得基准板的像，并输出第一光强信号；信号调理系统，接收所述第一光强信号，通过数字电位器控制器实现双向调压，输出光强数据；主控系统，依据所述光强数据，调整所述基准板位置。本发明的对准标记搜索系统有利于准确获取机器基准标记相对位置信息，便于快速对机器标记位置相关机器常数进行标定校准，缩短整机安装后该机器常数校准时间，提高整机恢复正常工作的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 光刻 设备 对准 标记 搜索 系统 及其 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种用于光刻设备的对准标记搜索系统，其特征在于，包括：光学成像系统，获得基准板的像，并输出第一光强信号；信号调理系统，接收所述第一光强信号，通过数字电位控制设备实现双向电压调节，输出光强数据；主控系统，依据所述光强数据，调整所述基准板位置。
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