[发明专利]一种光学元件快速测量装置及测量方法

摘要

本发明公开了一种光学元件快速测量装置及测量方法，该测量装置包括光源系统、导光系统、样品放置机构、采光系统、后置分光系统、阵列式光电转换系统、数据分析系统。本发明是针对光学器件的研发和产品品质监测的复杂需求而发明的快速、灵活、准确的测量仪器，其特征是采用后置分光方式，结合半固定可调节样品平台和移动采光系统，可对规整和不规整光学元件完成透射、反射和散射光学参数测定，采用阵列式光电转换元件完成信号采集和转换，其特点是测量速度快、适应复杂形状样品、测量重现性好、配置灵活、价格低，适用于各种光学元件的光学参数测量和质量监测。

主权项

1、一种光学元件快速测量装置，该测量装置包括光源(2)，通过反射镜(1)聚光反射，汇聚于光纤导光透镜(3)，经光纤(4)传导至光纤出射透镜(5)，经透镜(6)、(7)调整为近似平行光束照射样品(8)，根据光束调整积分球(9)位置接收透射或反射光束，采集光由光纤导向光栅(11)分光，经过反射光路(12)分散后，投向阵列光电转换器(13)，经模数转换(17)得到测量数据，数据由PC机(18)处理后得到测量结果。其中，样品放置平台由垂直升降台(14)和角位移台(15)组成，积分球(9)通过连接杆(16)连接角位移台(15)作角位移调整。测量装置的特征在于：结合光栅(11)和阵列光电转换元件(13)设计的后置分光光路设计，可以不经过前置分光单色系统，一次完成设定波长范围内的光度测量。