[发明专利]一种线切割用碳化硅微粉的提纯净化工艺

摘要

本发明公开了一种线切割用碳化硅微粉的提纯净化方法。该方法包括以下步骤：上料后首先除碳除油，做发泡实验，表面无油则合格；再用碱洗，检查水样pH＝8.5-9.5，并且电导率值与所用水相当(差值≤0.003ms/cm)则合格；然后调整酸度，过量酸洗，检查水样pH＝6-7，并且电导率值与所用水相当(差值≤0.002ms/cm)则合格，再干燥，得到经过提纯净化的合格碳化硅微粉。本发明的优点和效果：本发明为碳化硅微粉生产工艺中通过除碳除油、碱洗酸洗使SiC纯度得到提高，降低杂质的含量。并且本工艺操作简单，所需周期短，效率高。

主权项

一种线切割用碳化硅微粉的提纯净化工艺，其特征在于，其步骤如下：(1)上料过程：取经过加工的碳化硅微粉入水槽，加入为碳化硅微粉2 3倍质量的水搅拌均匀，加温至40 50℃，边加温边搅拌并测温；(2)除碳过程：在上述溶液中加入总溶液体积0.0015 0.0025％的浮选油和煤油(两种油体积比为5∶1)，记录液面刻度，然后在40 50℃恒温下连续搅拌30 60min，静置30 60min，排掉50％ 60％的水；(3)加表面活性剂过程：a.加入为总溶液体积0.3 0.5％的表面活性剂SS 1000，再加水至刻度线，搅拌10 30min，继续升温到40 50℃，边加温边搅拌，40 50℃恒温30 60min后，再搅拌1 1.5h，静置30 60min，排掉约60 80％的水；b.加水至刻度线，加水时要搅拌，并加热至40 50℃，恒温10 30min，再继续搅拌30 60min，静置30 60min，排掉60 80％的水，一定要去除表面的油；重复b过程2 3次；做发泡实验，表面无油，合格，不合格则继续；(4)加碱过程：a.加水至刻度线，并加入为碳化硅微粉质量1.2 1.6％的氢氧化钠，搅拌30 60min，静置30 60min，再搅拌30 60min，静置30 60min，排掉75 90％的水；b.加水至刻度线，搅拌10 30min，静置30 60min，排掉75 90％的水；c.重复b过程3 5次，然后送水样检查pH＝8.5 9.5，并且电导率值与所用水相当(差值≤0.003ms/cm)，合格，不合格则继续；(5)加酸过程：a.再缓慢加入为总溶液体积的15 25％的浓硫酸(浓度为98％)，加水至刻度线，搅拌30 60min，静置30 60min，再搅拌30 60min，静置30 60min，排掉75 90％的水；b.加水至刻度线，搅拌10 30min，静置30 60min，排掉75 90％的水；c.重复b过程4 6次，送水样检查pH＝6 7，并且电导率值与所用水相当(差值≤0.002ms/cm)，合格，不合格则继续，然后再干燥，得到经过提纯净化的合格碳化硅微粉。