[发明专利]一种底栅型FED下板的制作方法

摘要

一种底栅型FED下板制作方法，首先在阴极玻璃基片上印刷栅极层图形，曝光、烧结成形，在栅极层图形印刷抗蚀耐电镀油墨层；其次以栅极作为阳极，在栅极层表面电镀AgCl；然后在栅极层图形上印刷介质层图形，烧结成形；最后在介质层图形上印刷阴极层图形，烧结成形。本发明采用在栅极层表面电镀一层AgCl绝缘层保护栅极，既能保证栅极与阴极之间的电场不受影响，又解决了底栅型FED下板制作时栅极和阴极间容易短路的问题，该方法工艺简洁，简单易行，能够达到较好的效果。

主权项

1、一种底栅型FED下板制作方法，其特征在于，包括以下步骤：1)在阴极玻璃基片上印刷栅极层图形：a、在阴极玻璃基片上，通过丝网印刷法印刷感光银浆料，置于烘箱中烘烤，烘烤温度为100～120℃，烘烤时间为20～30分钟，然后自然冷却；b、将印刷感光银浆料后的阴极玻璃基片通过栅极层图形掩膜版在紫外灯下曝光，曝光量为600～800mJ/cm2；c、将曝光过的阴极玻璃基片采用质量分数为0.4％的Na2CO3溶液显影，显影时间20～30秒，显影压力为1.5kgf/cm2；d、将显影过的阴极玻璃基片转入烧结炉中烧结，在450～480℃下保温30分钟，然后在570～600℃下保温30分钟，得到栅极层图形；2)在栅极层图形上印刷感光型的抗蚀耐电镀油墨层：a、在阴极玻璃基片的栅极层图形上印刷感光型的抗蚀耐电镀油墨，置于烘箱中烘烤，烘烤温度为80～100℃，烘烤时间为20～40分钟，然后自然冷却；b、在抗蚀耐电镀油墨层上覆盖耐电镀油墨掩膜版后，置于紫外光下曝光，曝光量为600～800mJ/cm2；c、曝光后采用质量百分比浓度为0.4％的Na2CO3溶液显影，显影时间20～30秒，显影压力为1.5kgf/cm2，然后转入烘箱中烘烤，烘烤温度为80～100℃、烘烤时间为80～120分钟；3)栅极层AgCl绝缘层的电镀：a、以0.1mol/l的KCl溶液为电解液，以栅极作为阳极，电流为15～35mA，进行电镀80～120min，在无抗蚀耐电镀油墨层保护的栅极层表面发生电化学反应形成AgCl绝缘层；b、电镀之后，采用质量百分比浓度为0.5％的NaOH溶液淋洗，淋洗时间20s，淋洗压力为1.5kgf/cm2；4)介质层图形和阴极层图形的印刷：a、利用丝网印刷方法在AgCl绝缘层上印刷介质层图形，转入烘箱干燥，烧结成形；b、利用丝网印刷方法在介质层图形上印刷出阴极层图形，转入烘箱干燥，烧结成形。