[发明专利]去除全氟碳化物气体的系统和方法无效

专利信息
申请号: 200910010132.1 申请日: 2009-01-15
公开(公告)号: CN101496992A 公开(公告)日: 2009-08-05
发明(设计)人: 朱小梅;孙冰;解宏端 申请(专利权)人: 大连海事大学
主分类号: B01D53/86 分类号: B01D53/86;B01D53/70;B01D53/76;B01D53/14
代理公司: 大连东方专利代理有限责任公司 代理人: 李 猛
地址: 116026辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 去除全氟碳化物气体的系统,在待处理气体输入口处设置流量控制器(或阀门),通过管路连接到内部通过微波产生等离子体的反应管,在等离子体后部设置催化剂床层,处理后的气体通过湿式吸收装置吸收氟化氢气体。去除全氟碳化物气体的方法,是待处理气体经流量控制器(或阀门)入反应管,微波功率200-2000W,气体流速0.5-40L/min,四氟化碳浓度1-10000mL/m3,反应管中采用微波点火,对混合气体进行连续处理;处理后经过填充在反应管末端的催化剂床层,床温度600-900K。用湿式吸收法吸收处理后排放,湿式吸收液采用饱和Ca(OH)2溶液,温度为常温35度以下。本发明具有脱除效率高,能耗低的特点。
搜索关键词: 去除 碳化物 气体 系统 方法
【主权项】:
1、去除全氟碳化物气体的系统,主要包括以下装置:在待处理气体输入口(1)处设置有一流量控制器(2),流量控制器(2)通过管路连接到反应管(3),在反应管(3)的内部通过微波产生等离子体(4),按照气体流入的方向在等离子体后部设置有催化剂床层(5),所述的等离子体(4)由微波发生器(8)通过波导管(7)提供能量,波导管(7)和反应管(3)采用中心点直接耦合方式,由于是流动中的气体被电离产生等离子体,等离子体为等离子体炬形,气流经等离子体(4)处理后,再经过催化剂床层(5)反应,处理后的气体通过湿式吸收装置(6)吸收氟化氢气体,最后排入大气。
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