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[发明专利]用于半导体处理的废气减排技术-CN202180078505.8在审
发明人： I·马哈维利 -专利权人：爱德华兹真空泵有限责任公司
申请日： 2021-09-17 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： B01D53/70 文献下载
摘要：一种用于半导体处理系统的半导体废物减排系统包括：真空泵；减排设备，其具有减排室，所述减排室与来自半导体处理室的半导体废气源流体连通，并且其中该减排室被构造成电离废气并排出经电离的气体。减排系统进一步包括具有过滤室的过滤设备，该过滤室形成液体储器。过滤设备的入口与减排室的出口和液体储器流体连通，并且过滤设备的出口与真空泵的入口连通，其中，过滤室处于真空下，并且其中，半导体废气在被输入到真空泵之前在减排室中被电离且然后由过滤设备过滤。
用于半导体处理废气技术

[发明专利]气体处理炉以及使用气体处理炉的排出气体处理装置-CN202080102296.1在审
发明人：今村启志 -专利权人：北京康肯环保设备有限公司
申请日： 2020-07-07 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： B01D53/70 文献下载
摘要：本发明的气体处理炉(10)的特征在于由在内部充填有电热体的加热器主体(12)和贯通该加热器主体(12)的管状的气体流通路(14)构成。另外，气体处理炉的特征在于具备：块状的加热器主体(12)，其在上下方向延伸，在内部充填有电热体；气体流通路(14)，其在上下贯通上述加热器主体(12)的内部，在俯视时，多列气体流通路(14)在前后方向连续设置或者延伸设置并且在左右方向相互平行；以及头管箱(16)，其安装在上述加热器主体(12)的上端部，经由在其内部形成的连通空间(16a)而将上述气体流通路(14)彼此相互连通。
气体处理以及使用排出装置

[实用新型]一种移动式无烟检修设备-CN202221856144.3有效
发明人：张俊;蔡勇;何鹏飞;涂嵬;韦鹤超;蒲勇 -专利权人：四川永祥新能源有限公司
申请日： 2022-07-19 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： B01D53/70 文献下载
摘要：本申请涉及多晶硅生产技术领域，公开了一种移动式无烟检修设备，包括水箱、气瓶以及射流器，所述水箱的出液口通过出液管与射流器的进液口连接，出液管的管路上设置有离心泵，射流器的出液口与水箱的进气口连接，所述气瓶上分别设置有止回阀和吸气口，止回阀通过出气管与射流器连接，吸气口通过管路与待检修的设备连通，所述水箱上设置有与水箱连通的淋洗塔。本申请的无烟检修设备利用真空原理，将带硅烷的烟雾通过负压吸入烟道进入水箱中进行水解，并且配置小型淋洗塔将尾气进行淋洗，彻底去除氯硅烷，解决了多晶硅生产设备开环检修作业时，残余的氯硅烷气体对环境的污染和人员的伤害的问题。
一种移动式无烟检修设备

[发明专利]一种光电驱动微生物光电解池降解1,2-二氯乙烷的方法-CN202211225702.0在审
发明人：叶杰旭;张震;李少宇;彭瑞建;陈建孟;张士汉 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2022-10-09 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： B01D53/70 文献下载
摘要：本发明公开了一种光电驱动微生物光电解池降解1,2‑二氯乙烷的方法，包括以下步骤：1）生物阴极的驯化与启动，使阴极电极上形成阴极生物膜，驯化得到能降解1,2‑二氯乙烷的电活性微生物；2）以g‑C3N4/BlueTiO2‑NTA复合电极为光电阳极构建双室微生物光电解池（MPEC）；3）光电极受光照产生电子，电子经外电路传导驱动阴极微生物降解1,2‑二氯乙烷。本发明将g‑C3N4和BlueTiO2‑NTA两种半导体耦合，将所制g‑C3N4/BlueTiO2‑NTA复合电极作为微生物电解池的阳极，把光能转化为电能，在光照条件下产生光生电子，实现了在不外加电压和化学还原剂的条件下，光能驱动微生物稳定有效的降解1,2‑二氯乙烷。
一种光电驱动微生物电解池降解二氯乙烷方法

[发明专利]一种三维电极生物膜反应装置及其去除氯苯废气的方法-CN202211284770.4在审
发明人：权跃;王斯怡;白瑞;王柏淇;刘岩松;鲍美含;王可欣;李佰潞 -专利权人：延边大学
申请日： 2022-10-20 - 公布日： 2022-12-16 - 主分类号： B01D53/70 文献下载
摘要：本发明提供了一种三维电极生物膜反应装置及其去除氯苯废气的方法，涉及环境工程技术领域。本发明的三维电极生物膜反应装置，包括反应器(1)，所述反应器(1)内设有从下至上的营养液存储区(5)、进气区(2)、反应区(3)以及营养液喷淋区(4)；所述进气区(2)内设置有纳米曝气头(2‑3)，所述纳米曝气头(2‑3)与进气管(2‑1)通过穿板螺纹直通(2‑2)连通；所述反应区(3)内部设置有阴极板板(3‑1)、阳极板板(3‑2)、三维粒子电极(3‑3)；所述进气区(2)与反应区(3)通过多孔筛板(3‑4)隔开。本发明的反应装置可以有效去除氯苯废气。
一种三维电极生物膜反应装置及其去除氯苯废气方法

[发明专利]半导体制造废气的处理装置-CN202180003384.0在审
发明人：今村启志 -专利权人：北京康肯环保设备有限公司
申请日： 2021-04-26 - 公布日： 2022-12-09 - 主分类号： B01D53/70 文献下载
摘要：本发明的半导体制造废气的处理装置具备入口洗涤器(12)、气体处理炉(14)和出口洗涤器(16)。气体处理炉(14)具备：外筒(18)，其在内部形成有气体处理空间(18b)的密闭筒状的主体(18a)的底面穿设有气体导入口(18c)；内筒(20)，其一端以包围气体导入口(18c)的方式装配在上述主体(18a)的内部底面，另一端开口并且以横穿气体处理空间(18b)的方式延伸设置至接近主体(18a)的顶面的位置；和电热加热器(22)，其从主体(18a)的顶部(18d)垂直设置、并且在内筒(20)的内部空间内配设有长条棒状的发热体(22a)。在气体导入口(18c)的跟前设有将通过入口洗涤器(12)后的废气(E)的流路的内径一口气缩小至气体导入口(18c)的口径以下的节流部(24)，并且在该节流部(24)中的废气流动方向上游侧端部的附近设有向废气(E)供给规定量的还原性气体(G)的还原性气体供给单元(26)。
半导体制造废气处理装置

[实用新型]一种水泥协同处置二恶英减排装置-CN202221210597.9有效
发明人：朱春喜;马里静 -专利权人：安阳市湖波熟料有限公司
申请日： 2022-05-20 - 公布日： 2022-10-28 - 主分类号： B01D53/70 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种水泥协同处置二恶英减排装置，包括提升装置，所述的提升装置的上端连接进料口，所述的进料口底部连接水泥回转窑，所述的水泥回转窑的靠近进料口的一侧设有烟室，另一端设有冷却筒，所述的冷却筒由多根冷却管组成的网状结构，所述的水泥回转窑底部的出料口连接三级冷却螺旋输送机；所述的烟室上端烟气处理装置，所述的烟气处理装置依次包括旋风除尘器、热氧化炉、半干式冷却装置、布袋除尘器和烟囱。本实用新型与现有技术相比的优点在于：旋风除尘器设置在热氧化炉之前，这样入窑的固相二恶英总量减少40％以上，间接降低了烟气中二恶英的原始排放浓度。
一种水泥协同处置二恶英装置

[实用新型]一种用于二噁英处理的低温等离子体装置-CN202221215924.X有效
发明人：陈扬;王通哲;冯钦忠;刘俐媛;郭建波;杨世童;张秀锦;周聪 -专利权人：中国科学院大学
申请日： 2022-05-18 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： B01D53/70 文献下载
摘要：本实用新型涉及固体废物焚烧废气处理领域，尤其涉及一种用于二噁英处理的低温等离子体装置，包括壳体、至少一个钛丝，所述壳体为筒状结构，所述钛丝平行于所述壳体的轴线设置，所述钛丝与所述壳体内壁之间设有极板组件，所述钛丝的长度不小于所述极板组件的长度，所述壳体一端设有进气组件，所述壳体另一端设有出气组件，所述壳体上设有观察组件；所述极板组件内壁涂覆有碳纳米功能材料。本实用新型提高了装置内电子密度及能量密度，还能作为催化剂，提高反应选择性，促进反应提高了反应器的降解效率，节约了能源成本。
一种用于二噁英处理低温等离子体装置

[实用新型]一种VOCs尾气收集治理系统-CN202220430345.0有效
发明人：单星星;孟庆杰;张硕;贺红梅;崔浩然;张静茹;杨功兵;刘秀丽;乔婧 -专利权人：天津环科环境咨询有限公司
申请日： 2022-03-01 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： B01D53/70 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种VOCs尾气收集治理系统，属于VOCs尾气治理技术领域。该VOCs尾气收集治理系统，包括第一收集管、第二收集管、第一输送管、第二输送管、卤素VOCs尾气治理装置、非卤素的VOCs尾气治理装置以及排放烟囱。该实用新型的有益效果：第一收集管可把含卤素VOCs尾气气体传导至卤素VOCs尾气治理装置内，同时非卤素的VOCs尾气治理装置可对非卤素VOCs尾气进行尾气除液后，由第二输送管传导通过至水吸收塔，活性炭吸附箱后，由排放烟囱排出，使装置达到对卤素VOCs尾气与非卤素VOCs尾气可进行分离治理，节约了成本，且分离治理后期可同时进行，降低了设备的重复使用，进一步达到了节约成本的效果。
一种 vocs 尾气收集治理系统

[发明专利]一种用于二噁英处理的低温等离子体装置-CN202210551064.5在审
发明人：陈扬;王通哲;冯钦忠;刘俐媛;郭建波;杨世童;张秀锦;周聪 -专利权人：中国科学院大学
申请日： 2022-05-18 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： B01D53/70 文献下载
摘要：本发明涉及固体废物焚烧废气处理领域，尤其涉及一种用于二噁英处理的低温等离子体装置，包括壳体、至少一个钛丝，所述壳体为筒状结构，所述钛丝平行于所述壳体的轴线设置，所述钛丝与所述壳体内壁之间设有极板组件，所述钛丝的长度不小于所述极板组件的长度，所述壳体一端设有进气组件，所述壳体另一端设有出气组件，所述壳体上设有观察组件；所述极板组件内壁涂覆有碳纳米功能材料。本发明提高了装置内电子密度及能量密度，还能作为催化剂，提高反应选择性，促进反应提高了反应器的降解效率，节约了能源成本。
一种用于二噁英处理低温等离子体装置

[发明专利]一种提高环氧氯丙烷尾气吸收率的碱液喷淋塔-CN202010294123.6有效
发明人：陈小金;胡立宇;朱振中;李庆华 -专利权人：无锡厚德石化工程设计有限公司
申请日： 2020-04-15 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： B01D53/70 文献下载
摘要：本发明公开了一种提高环氧氯丙烷尾气吸收率的碱液喷淋塔，包括喷淋塔本体，所述喷淋塔本体的底部设有循环液出口，其顶部设有气相出口，所述气相出口的下方设有除沫器，喷淋塔本体下部的两侧分别设有液位计和气相进口，其中部设有循环液下进口，其上部设有循环液上进口，所述循环液出口的下方设有循环泵，所述液位计的同侧设有深冷器，所述循环泵与深冷器通过管路连接；本装置可有效解决环氧氯丙烷与液碱的接触面积过小、接触时间过短造成吸收效率低的缺陷，有效调节吸收塔喷淋液的温度，不但可以控制吸收效果，也不会出现过度冷却造成浪费，可以有效控制两层填料进料流量，不会出现上层无喷淋液的情况，塔顶设置除沫器，防止液碱随气相散逸。
一种提高环氧氯丙烷尾气吸收率喷淋塔

[发明专利]氧化处理卤代有机废气的装置-CN202210478620.0在审
发明人：吕溥;李金惠;赵娜娜;高鹏;王智华 -专利权人：苏州清咨威特环保科技有限公司;清华大学
申请日： 2022-05-05 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： B01D53/70 文献下载
摘要：本发明提供一种氧化处理卤代有机废气的装置，包括熔盐炉，其内适于设置熔盐；废气通道，适于通入卤代有机废气，所述废气通道从所述熔盐炉的上部伸入所述熔盐炉内且延伸至所述熔盐炉的底部；空气通道，适于通入空气，所述空气通道与所述废气通道连通，且所述空气通道与所述废气通道的连接点位于所述熔盐炉外；排气管，自所述熔盐炉的上部伸出。因本发明中所述废气通道从所述熔盐炉的上部伸入所述熔盐炉内且延伸至所述熔盐炉的底部，所述废气需从所述熔盐炉的底部逐渐上升，这个过程可以增加废气与熔盐的接触时间，进而提高氧化处理效率。
氧化处理有机废气装置

[实用新型]一种化工厂用废气净化处理装置-CN202120659575.X有效
发明人：董利先 -专利权人：董利先
申请日： 2021-03-31 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： B01D53/70 文献下载
摘要：本实用新型属于处理设备技术领域，尤其为一种化工厂用废气净化处理装置，针对现有的废气净化处理装置中的喷头大多固定不动，使得喷洒范围较为单一，从而造成对废气的处理效率较低的问题，现提出如下方案，其包括净化箱，净化箱的外侧固定安装有储液罐，储液罐的内部转动安装有螺旋绞龙，净化箱的内侧顶部转动安装有不完全蜗杆与蜗轮，不完全蜗杆与蜗轮相互啮合，不完全蜗杆的一端延伸至净化箱的外侧，不完全蜗杆的一端与螺旋绞龙的外侧均固定安装有链轮，两个链轮上传动连接有同一个链条。本实用新型设计合理，第二电机的工作使转轴转动，带动扇叶转动，使喷头喷洒出去的液体能够吹向更远的位置，提高对废气的净化效率。
一种化工厂废气净化处理装置

[发明专利]适用于Cl-VOCs处理的干法除酸系统及方法-CN202111185157.2在审
发明人：何群伟;李良城;仲梅 -专利权人：苏州克兰茨环境科技有限公司
申请日： 2021-10-12 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： B01D53/70 文献下载
摘要：本发明涉及一种适用于Cl‑VOCs处理的干法除酸系统及方法，系统包括RTO系统，RTO系统的下箱体出气口连接急冷塔中部的进气口，急冷塔的出气口连接文丘里反应器前的进料端，文丘里反应器的出气口连接旋风分离器，旋风分离器的顶端出气口连接除尘器且底端出灰口连接灰箱，除尘器的出气口通过引风机连通至烟囱且底部出灰口连接灰箱。本发明利用急冷塔对RTO热旁通尾气进行降温，采用文丘里反应器进行干式去除反应，利用旋风分离器继续进行干式去除反应去除反应后大颗粒产物，并利用脉冲袋式除尘器进行细颗粒物脱除，实现对Cl‑VOCs的有效去除，避免避免传统干法、湿法除酸存在的工艺弊端。
适用于 cl vocs 处理系统方法

[实用新型]一种烟气二噁英吸收处理装置-CN202121490555.0有效
发明人：陈水泉;沈艺强;冯琦;张军;倪洪炜;江威 -专利权人：安吉临港热电有限公司
申请日： 2021-07-01 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： B01D53/70 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种烟气二噁英吸收处理装置，包括处理塔，所述处理塔一侧的底端设置有加压泵，所述处理塔的顶端设置有排烟管，所述处理塔内部的底端设置有过滤组件，所述处理塔内部的中间位置设置有位于所述过滤组件顶部的支撑盘，所述支撑盘的顶端设置有处理填充物。有益效果：通过提高反应区密度，并通过加压渗透的方式实现烟气的处理，从而有效提高处理效率，提高了烟气二噁英吸收处理效果，同时便于对过滤杂质进行清理和对处理填充物的更换。
一种烟气二噁英吸收处理装置

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